Казанский (Приволжский) федеральный университет, КФУ
КАЗАНСКИЙ
ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ
 
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ДИФРАКЦИОННОЙ РЕШЕТКИ
Форма представленияРоссийские патенты
Год публикации2015
Языкрусский
  • Осин Юрий Николаевич, автор
  • Степанов Андрей Львович, автор
  • Валеев Валерий Фердинандович, автор
  • Галяутдинов Мансур Фаляхутдинович, автор
  • Нуждин Владимир Иванович, автор
  • Библиографическое описание на языке оригинала Пат. 2544873 Российская Федерация, МПК G02B 5/18; H01L 21/265; H01L 21/425 . СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ДИФРАКЦИОННОЙ РЕШЕТКИ/ Степанов А.Л., Нуждин В.И., Валеев В.Ф., Галяутдинов М.Ф., Осин Ю.Н.- № 2013158578/28, заявл. 27.12.2013, опубл.20.03.15, Бюл.№ 8. - 3 с
    Ключевые слова пористый кремний, ионная имплантация, дифракционная решетка
    Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку https://repository.kpfu.ru/?p_id=106907

    Полная запись метаданных