Казанский (Приволжский) федеральный университет, КФУ
КАЗАНСКИЙ
ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ
 
ДИФРАКЦИЯ ОТРАЖЕННЫХ ЭЛЕКТРОНОВ ОТ НАНОПОРИСТОГО КРЕМНИЯ, СФОРМИРОВАННОГО НИЗКОЭНЕРГЕТИЧЕСКОЙ ИМПЛАНТАЦИЕЙ ИОНАМИ СЕРЕБРА
Форма представленияСтатьи в российских журналах и сборниках
Год публикации2015
Языкрусский
  • Воробьев Вячеслав Валерьевич, автор
  • Осин Юрий Николаевич, автор
  • Степанов Андрей Львович, автор
  • Валеев Валерий Фердинандович, автор
  • Ермаков Михаил А., автор
  • Нуждин Владимир Иванович, автор
  • Воробьев Вячеслав Валерьевич, автор
  • Библиографическое описание на языке оригинала В.В. Воробъев, Ю.Н. Осин, М.А. Ермаков, В.Ф. Валеев, В.И. Нуждин, А.Л. Степанов ДИФРАКЦИЯ ОТРАЖЕННЫХ ЭЛЕКТРОНОВ ОТ НАНОПОРИСТОГО КРЕМНИЯ, СФОРМИРОВАННОГО НИЗКОЭНЕРГЕТИЧЕСКОЙ ИМПЛАНТАЦИЕЙ ИОНАМИ СЕРЕБРА // НАНОТЕХНОЛОГИИ: НАУКА И ПРОИЗВОДСТВО № 1, 2015, стр. 42-52
    Аннотация Представлены результаты структурного исследования методом дифракции отраженных электронов (ДОЭ) нанопористого кремния (PSi), сформированного на поверхности монокри- сталлического (с-Si) и аморфизованного (а-Si) кремния, низкоэнергетической имплантацией ионами серебра. Имплантация проводилась с энергией 30 кэВ при дозе 1.51017 ион/см2 и плотности тока в ионном пучке 8 мкA/см2 при комнатной температуре облучаемой подложки Si. Аморфизация с-Si была осуществлена имплантацией ионами He+ с энергией 40 кэВ при той же дозе. Показано, что в результате ионной имплантации на с-Si и а-Si формируется тонкий аморфный слой PSi, в структуре которого присутствуют наночастицы серебра. Про- ведение термического отжига структуры Ag:PSi на с-Si при температуре 600ºС в течении 30 минут приводит к частичному восстановлению кристаллической решетки Si и практически полному разрушению металлических наночастиц при существенном пониже
    Ключевые слова дифракция обратно рассеянных электронов, пористый кремний, ион- ная имплантация
    Название журнала НАНОТЕХ
    Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку https://repository.kpfu.ru/?p_id=107784
    Файлы ресурса 
    Название файла Размер (Мб) Формат  
    Vorobev.Nano.2015.1.pdf 0,82 pdf посмотреть / скачать

    Полная запись метаданных