Казанский (Приволжский) федеральный университет, КФУ
КАЗАНСКИЙ
ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ
 
АНАЛИЗ ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЯ, ИМПЛАНТИРОВАННОГО ИОНАМИ СЕРЕБРА, МЕТОДОМ СПЕКТРАЛЬНОЙ ЭЛЛИПСОМЕТРИИ И ДИФРАКЦИИ ОТРАЖЕННЫХ ЭЛЕКТРОНОВ
Форма представленияТезисы и материалы конференций в российских журналах и сборниках
Год публикации2016
Языкрусский
  • Воробьев Вячеслав Валерьевич, автор
  • Осин Юрий Николаевич, автор
  • Степанов Андрей Львович, автор
  • Базаров Валерий Вячеславовоич, автор
  • Баталов Рафаэль Ильясович, автор
  • Валеев В Ф, автор
  • Нуждин Владимир Иванович, автор
  • Воробьев Вячеслав Валерьевич, автор
  • Библиографическое описание на языке оригинала Базаров В.В., Нуждин В.И., Валеев В.Ф., Воробьев В.В., Осин Ю.Н., Баталов Р.И., Степанов А.Л., Анализ поверхности кремния, имплантированного ионами серебра, методом спектральной эллипсометрии и дифракции отраженных электронов // Тезисы докладов VI Всероссийской конференции и школы молодых ученых и специалистов «Физические и физико-химические основы ионной имплантации» — Нижний Новгород: НГУ им. Н.И. Лобачевского, 24-27 октября 2016, С. 27.
    Аннотация Тезисы докладов VI Всероссийской конференции и школы молодых ученых и специалистов ?Физические и физико-химические основы ионной имплантации?
    Ключевые слова эллипсометрия, дифракция отраженных электронов, кристаллическая структура
    Название журнала Тезисы докладов VI Всероссийской конференции и школы молодых ученых и специалистов ?Физические и физико-химические основы ионной имплантации?
    Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку https://repository.kpfu.ru/?p_id=143177
    Файлы ресурса 
    Название файла Размер (Мб) Формат  
    Tezisy_dokladov_FFHOII_2016.pdf 17,51 pdf посмотреть / скачать

    Полная запись метаданных