КФУ. Карточка публикации. Сканирующая зондовая микроскопия кремниевых слоев имплантированных ионами серебра

КАЗАНСКИЙ
ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ

RUS

- EN
- 中文
- ES

СКАНИРУЮЩАЯ ЗОНДОВАЯ МИКРОСКОПИЯ КРЕМНИЕВЫХ СЛОЕВ ИМПЛАНТИРОВАННЫХ ИОНАМИ СЕРЕБРА

Форма представления

Тезисы и материалы конференций в российских журналах и сборниках

Год публикации

2017

Язык

русский

Авторы, сотрудники КФУ

Воробьев Вячеслав Валерьевич, автор

Осин Юрий Николаевич, автор

Рогов Алексей Михайлович, автор

Другие авторы

Степанов Андрей Львович, автор

Библиографическое описание на языке оригинала

Рогов А.М. Сканирующая зондовая микроскопия кремниевых слоев имплантированных ионами серебра / А.М. Рогов, В.В. Воробьев, Ю.Н. Осин, В.И. Нуждин, В.Ф. Валеев, А.Л. Степанов// Scanning Probe Microscopy. Abstract Book of International Conference. - 2017. - с. 115-116

Аннотация

Scanning Probe Microscopy. Abstract Book of International Conference

Ключевые слова

Атомно-силовая микроскопия, сканирующая электронная микроскопия, пористые полупроводниковые материалы

Название журнала

Scanning Probe Microscopy. Abstract Book of International Conference

URL

https://nanocenter.urfu.ru/ru/spm2017/%D1%82%D0%B5%D0%B7%D0%B8%D1%81%D1%8B

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку

https://repository.kpfu.ru/?p_id=162734

Полная запись метаданных

Поле DC	Значение	Язык
dc.contributor.author	Воробьев Вячеслав Валерьевич	ru_RU
dc.contributor.author	Осин Юрий Николаевич	ru_RU
dc.contributor.author	Рогов Алексей Михайлович	ru_RU
dc.contributor.author	Степанов Андрей Львович	ru_RU
dc.date.accessioned	2017-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2017-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2017	ru_RU
dc.identifier.citation	Рогов А.М. Сканирующая зондовая микроскопия кремниевых слоев имплантированных ионами серебра / А.М. Рогов, В.В. Воробьев, Ю.Н. Осин, В.И. Нуждин, В.Ф. Валеев, А.Л. Степанов// Scanning Probe Microscopy. Abstract Book of International Conference. - 2017. - с. 115-116	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/?p_id=162734	ru_RU
dc.description.abstract	Scanning Probe Microscopy. Abstract Book of International Conference	ru_RU
dc.description.abstract	Описан способ формирования нанопористого кремния на поверхности монокристаллического Si при имплантации ионами Ag+. Методами СЗМ и СЭМ показано, что в результате на поверхности Si формируются аморфные слои нанопористого кремния со средними размерами пор ~130 нм, в структуре которых синтезируются наночастицы Ag диаметром от 5 до 20 нм.	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject	Атомно-силовая микроскопия	ru_RU
dc.subject	сканирующая электронная микроскопия	ru_RU
dc.subject	пористые полупроводниковые материалы	ru_RU
dc.title	Сканирующая зондовая микроскопия кремниевых слоев имплантированных ионами серебра	ru_RU
dc.type	Тезисы и материалы конференций в российских журналах и сборниках	ru_RU