| Форма представления | Статьи в российских журналах и сборниках |
| Год публикации | 2015 |
| Язык | русский |
|
Воробьев Вячеслав Валерьевич, автор
Осин Юрий Николаевич, автор
Степанов Андрей Львович, автор
|
|
Валеев Валерий Фердинандович, автор
Ермаков Михаил А., автор
Нуждин Владимир Иванович, автор
|
|
Воробьев Вячеслав Валерьевич, автор
|
| Библиографическое описание на языке оригинала |
В.В. Воробъев, Ю.Н. Осин, М.А. Ермаков, В.Ф. Валеев, В.И. Нуждин,
А.Л. Степанов ДИФРАКЦИЯ ОТРАЖЕННЫХ ЭЛЕКТРОНОВ ОТ НАНОПОРИСТОГО КРЕМНИЯ, СФОРМИРОВАННОГО НИЗКОЭНЕРГЕТИЧЕСКОЙ ИМПЛАНТАЦИЕЙ ИОНАМИ СЕРЕБРА // НАНОТЕХНОЛОГИИ: НАУКА И ПРОИЗВОДСТВО № 1, 2015, стр. 42-52 |
| Аннотация |
Представлены результаты структурного исследования методом дифракции отраженных
электронов (ДОЭ) нанопористого кремния (PSi), сформированного на поверхности монокри-
сталлического (с-Si) и аморфизованного (а-Si) кремния, низкоэнергетической имплантацией
ионами серебра. Имплантация проводилась с энергией 30 кэВ при дозе 1.51017 ион/см2 и
плотности тока в ионном пучке 8 мкA/см2 при комнатной температуре облучаемой подложки
Si. Аморфизация с-Si была осуществлена имплантацией ионами He+ с энергией 40 кэВ при
той же дозе. Показано, что в результате ионной имплантации на с-Si и а-Si формируется
тонкий аморфный слой PSi, в структуре которого присутствуют наночастицы серебра. Про-
ведение термического отжига структуры Ag:PSi на с-Si при температуре 600ºС в течении 30
минут приводит к частичному восстановлению кристаллической решетки Si и практически
полному разрушению металлических наночастиц при существенном пониже |
| Ключевые слова |
дифракция обратно рассеянных электронов, пористый кремний, ион-
ная имплантация |
| Название журнала |
НАНОТЕХ
|
| Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку |
https://repository.kpfu.ru/?p_id=107784 |
| Файлы ресурса | |
|
|
Полная запись метаданных  |
| Поле DC |
Значение |
Язык |
| dc.contributor.author |
Воробьев Вячеслав Валерьевич |
ru_RU |
| dc.contributor.author |
Осин Юрий Николаевич |
ru_RU |
| dc.contributor.author |
Степанов Андрей Львович |
ru_RU |
| dc.contributor.author |
Валеев Валерий Фердинандович |
ru_RU |
| dc.contributor.author |
Ермаков Михаил А. |
ru_RU |
| dc.contributor.author |
Нуждин Владимир Иванович |
ru_RU |
| dc.contributor.author |
Воробьев Вячеслав Валерьевич |
ru_RU |
| dc.date.accessioned |
2015-01-01T00:00:00Z |
ru_RU |
| dc.date.available |
2015-01-01T00:00:00Z |
ru_RU |
| dc.date.issued |
2015 |
ru_RU |
| dc.identifier.citation |
В.В. Воробъев, Ю.Н. Осин, М.А. Ермаков, В.Ф. Валеев, В.И. Нуждин,
А.Л. Степанов ДИФРАКЦИЯ ОТРАЖЕННЫХ ЭЛЕКТРОНОВ ОТ НАНОПОРИСТОГО КРЕМНИЯ, СФОРМИРОВАННОГО НИЗКОЭНЕРГЕТИЧЕСКОЙ ИМПЛАНТАЦИЕЙ ИОНАМИ СЕРЕБРА // НАНОТЕХНОЛОГИИ: НАУКА И ПРОИЗВОДСТВО № 1, 2015, стр. 42-52 |
ru_RU |
| dc.identifier.uri |
https://repository.kpfu.ru/?p_id=107784 |
ru_RU |
| dc.description.abstract |
НАНОТЕХ |
ru_RU |
| dc.description.abstract |
Представлены результаты структурного исследования методом дифракции отраженных
электронов (ДОЭ) нанопористого кремния (PSi), сформированного на поверхности монокри-
сталлического (с-Si) и аморфизованного (а-Si) кремния, низкоэнергетической имплантацией
ионами серебра. Имплантация проводилась с энергией 30 кэВ при дозе 1.51017 ион/см2 и
плотности тока в ионном пучке 8 мкA/см2 при комнатной температуре облучаемой подложки
Si. Аморфизация с-Si была осуществлена имплантацией ионами He+ с энергией 40 кэВ при
той же дозе. Показано, что в результате ионной имплантации на с-Si и а-Si формируется
тонкий аморфный слой PSi, в структуре которого присутствуют наночастицы серебра. Про-
ведение термического отжига структуры Ag:PSi на с-Si при температуре 600ºС в течении 30
минут приводит к частичному восстановлению кристаллической решетки Si и практически
полному разрушению металлических наночастиц при существенном пониже |
ru_RU |
| dc.language.iso |
ru |
ru_RU |
| dc.subject |
дифракция обратно рассеянных электронов |
ru_RU |
| dc.subject |
пористый кремний |
ru_RU |
| dc.subject |
ион-
ная имплантация |
ru_RU |
| dc.title |
ДИФРАКЦИЯ ОТРАЖЕННЫХ ЭЛЕКТРОНОВ ОТ НАНОПОРИСТОГО КРЕМНИЯ, СФОРМИРОВАННОГО НИЗКОЭНЕРГЕТИЧЕСКОЙ ИМПЛАНТАЦИЕЙ ИОНАМИ СЕРЕБРА |
ru_RU |
| dc.type |
Статьи в российских журналах и сборниках |
ru_RU |
|
EN 
中文 
ES 
Карта сайта
