КФУ. Карточка публикации. Абдуллин И.Ш. Исследование энергии ионов, поступающих на поверхность материалов в ВЧ емкостном разряде пониженного давления [Text] И.Ш.Абдуллин, В.С.Желтухин, И.Р.Сагбиев, М.Ф.Шаехов.// Вестн. КГТУ им. А.Н.Туполева.-№3,2008.- С.73-74

RUS

- EN
- 中文
- ES

АБДУЛЛИН И.Ш. ИССЛЕДОВАНИЕ ЭНЕРГИИ ИОНОВ, ПОСТУПАЮЩИХ НА ПОВЕРХНОСТЬ МАТЕРИАЛОВ В ВЧ ЕМКОСТНОМ РАЗРЯДЕ ПОНИЖЕННОГО ДАВЛЕНИЯ [TEXT] И.Ш.АБДУЛЛИН, В.С.ЖЕЛТУХИН, И.Р.САГБИЕВ, М.Ф.ШАЕХОВ.// ВЕСТН. КГТУ ИМ. А.Н.ТУПОЛЕВА.-№3,2008.- С.73-74

Форма представления

Статьи в российских журналах и сборниках

Год публикации

2008

Авторы, сотрудники КФУ

Желтухин Виктор Семенович, автор

Библиографическое описание на языке оригинала

Абдуллин И.Ш. Исследование энергии ионов, поступающих на поверхность материалов в ВЧ емкостном разряде пониженного давления [Text] И.Ш.Абдуллин, В.С.Желтухин, И.Р.Сагбиев, М.Ф.Шаехов.// Вестн. КГТУ им. А.Н.Туполева.-№3,2008.- С.73-74

Место издания

Казань

Название журнала

Вестник Казанского государственного технического университета им. А.Н. Туполева

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку

https://repository.kpfu.ru/?p_id=11139

Полная запись метаданных

Поле DC	Значение	Язык
dc.contributor.author	Желтухин Виктор Семенович	ru_RU
dc.date.accessioned	2008-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2008-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2008	ru_RU
dc.identifier.citation	Абдуллин И.Ш. Исследование энергии ионов, поступающих на поверхность материалов в ВЧ емкостном разряде пониженного давления [Text] И.Ш.Абдуллин, В.С.Желтухин, И.Р.Сагбиев, М.Ф.Шаехов.// Вестн. КГТУ им. А.Н.Туполева.-№3,2008.- С.73-74	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/?p_id=11139	ru_RU
dc.description.abstract	Вестник Казанского государственного технического университета им. А.Н. Туполева	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.title	Абдуллин И.Ш. Исследование энергии ионов, поступающих на поверхность материалов в ВЧ емкостном разряде пониженного давления [Text] И.Ш.Абдуллин, В.С.Желтухин, И.Р.Сагбиев, М.Ф.Шаехов.// Вестн. КГТУ им. А.Н.Туполева.-№3,2008.- С.73-74	ru_RU
dc.type	Статьи в российских журналах и сборниках	ru_RU