КФУ. Карточка публикации. Абдуллин И.Ш. Измерение энергии ионов и ионного тока на поверхность образца в ВЧ разряде пониженного давления [Text] / И.Ш.Абдуллин, В.С.Желтухин, И.Р.Сагбиев, М.Ф.Шаехов // Матер. 6-го Рос. семин. 'Соврем. cредства диагностики плазмы и их применение для контроля веществ и окруж. среды'. Москва, 23-24 октября 2008 г. С.80-83.

RUS

- EN
- 中文
- ES

АБДУЛЛИН И.Ш. ИЗМЕРЕНИЕ ЭНЕРГИИ ИОНОВ И ИОННОГО ТОКА НА ПОВЕРХНОСТЬ ОБРАЗЦА В ВЧ РАЗРЯДЕ ПОНИЖЕННОГО ДАВЛЕНИЯ [TEXT] / И.Ш.АБДУЛЛИН, В.С.ЖЕЛТУХИН, И.Р.САГБИЕВ, М.Ф.ШАЕХОВ // МАТЕР. 6-ГО РОС. СЕМИН. 'СОВРЕМ. CРЕДСТВА ДИАГНОСТИКИ ПЛАЗМЫ И ИХ ПРИМЕНЕНИЕ ДЛЯ КОНТРОЛЯ ВЕЩЕСТВ И ОКРУЖ. СРЕДЫ'. МОСКВА, 23-24 ОКТЯБРЯ 2008 Г. С.80-83.

Форма представления

Статьи в российских журналах и сборниках

Год публикации

2008

Авторы, сотрудники КФУ

Желтухин Виктор Семенович, автор

Библиографическое описание на языке оригинала

Абдуллин И.Ш. Измерение энергии ионов и ионного тока на поверхность образца в ВЧ разряде пониженного давления [Text] / И.Ш.Абдуллин, В.С.Желтухин, И.Р.Сагбиев, М.Ф.Шаехов // Матер. 6-го Рос. семин. "Соврем. cредства диагностики плазмы и их применение для контроля веществ и окруж. среды". Москва, 23-24 октября 2008 г. С.80-83.

Аннотация

Матер. 6-го Рос. семин. "Соврем. Средства диагностики плазмы и их применение для контроля веществ и окруж. среды"

Место издания

Москва

Название журнала

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку

https://repository.kpfu.ru/?p_id=11146

Полная запись метаданных

Поле DC	Значение	Язык
dc.contributor.author	Желтухин Виктор Семенович	ru_RU
dc.date.accessioned	2008-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2008-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2008	ru_RU
dc.identifier.citation	Абдуллин И.Ш. Измерение энергии ионов и ионного тока на поверхность образца в ВЧ разряде пониженного давления [Text] / И.Ш.Абдуллин, В.С.Желтухин, И.Р.Сагбиев, М.Ф.Шаехов // Матер. 6-го Рос. семин. "Соврем. cредства диагностики плазмы и их применение для контроля веществ и окруж. среды". Москва, 23-24 октября 2008 г. С.80-83.	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/?p_id=11146	ru_RU
dc.description.abstract	Матер. 6-го Рос. семин. "Соврем. Средства диагностики плазмы и их применение для контроля веществ и окруж. среды"	ru_RU
dc.description.abstract	Матер. 6-го Рос. семин. "Соврем. Средства диагностики плазмы и их применение для контроля веществ и окруж. среды"	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.title	Абдуллин И.Ш. Измерение энергии ионов и ионного тока на поверхность образца в ВЧ разряде пониженного давления [Text] / И.Ш.Абдуллин, В.С.Желтухин, И.Р.Сагбиев, М.Ф.Шаехов // Матер. 6-го Рос. семин. "Соврем. cредства диагностики плазмы и их применение для контроля веществ и окруж. среды". Москва, 23-24 октября 2008 г. С.80-83.	ru_RU
dc.type	Статьи в российских журналах и сборниках	ru_RU