КФУ. Карточка публикации. Abdullin I.Sh. Application of Low Pressure Radio-Frequency Plasmas forNanolayers Formation on the Surface of Construction Materials [Text] / I.Sh. Abdullin, I.R. Sagbiev, M.F.Shaekhov, R.F.Sharafeev, V.S.Zheltukhin // Proc. of International Conference 'Micro- and nanoelectronics - 2007' (ICMNE-2007). Zvenigorod, Russia. October 1-5, 2007. P. 234-237.

RUS

- EN
- 中文
- ES

ABDULLIN I.SH. APPLICATION OF LOW PRESSURE RADIO-FREQUENCY PLASMAS FORNANOLAYERS FORMATION ON THE SURFACE OF CONSTRUCTION MATERIALS [TEXT] / I.SH. ABDULLIN, I.R. SAGBIEV, M.F.SHAEKHOV, R.F.SHARAFEEV, V.S.ZHELTUKHIN // PROC. OF INTERNATIONAL CONFERENCE 'MICRO- AND NANOELECTRONICS - 2007' (ICMNE-2007). ZVENIGOROD, RUSSIA. OCTOBER 1-5, 2007. P. 234-237.

Форма представления

Статьи в российских журналах и сборниках

Год публикации

2007

Авторы, сотрудники КФУ

Желтухин Виктор Семенович, автор

Библиографическое описание на языке оригинала

Abdullin I.Sh. Application of Low Pressure Radio-Frequency Plasmas forNanolayers Formation on the Surface of Construction Materials [Text] / I.Sh. Abdullin, I.R. Sagbiev, M.F.Shaekhov, R.F.Sharafeev, V.S.Zheltukhin // Proc. of International Conference "Micro- and nanoelectronics - 2007" (ICMNE-2007). Zvenigorod, Russia. October 1-5, 2007. P. 234-237.

Аннотация

Proc. of International Conference "Micro- and nanoelectronics 2007" (ICMNE-2007)

Место издания

Звенигород

Название журнала

Proc. of International Conference "Micro- and nanoelectronics 2007" (ICMNE-2007)

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку

https://repository.kpfu.ru/?p_id=11157

Полная запись метаданных

Поле DC	Значение	Язык
dc.contributor.author	Желтухин Виктор Семенович	ru_RU
dc.date.accessioned	2007-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2007-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2007	ru_RU
dc.identifier.citation	Abdullin I.Sh. Application of Low Pressure Radio-Frequency Plasmas forNanolayers Formation on the Surface of Construction Materials [Text] / I.Sh. Abdullin, I.R. Sagbiev, M.F.Shaekhov, R.F.Sharafeev, V.S.Zheltukhin // Proc. of International Conference "Micro- and nanoelectronics - 2007" (ICMNE-2007). Zvenigorod, Russia. October 1-5, 2007. P. 234-237.	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/?p_id=11157	ru_RU
dc.description.abstract	Proc. of International Conference "Micro- and nanoelectronics 2007" (ICMNE-2007)	ru_RU
dc.description.abstract	Proc. of International Conference "Micro- and nanoelectronics 2007" (ICMNE-2007)	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.title	Abdullin I.Sh. Application of Low Pressure Radio-Frequency Plasmas forNanolayers Formation on the Surface of Construction Materials [Text] / I.Sh. Abdullin, I.R. Sagbiev, M.F.Shaekhov, R.F.Sharafeev, V.S.Zheltukhin // Proc. of International Conference "Micro- and nanoelectronics - 2007" (ICMNE-2007). Zvenigorod, Russia. October 1-5, 2007. P. 234-237.	ru_RU
dc.type	Статьи в российских журналах и сборниках	ru_RU