Казанский (Приволжский) федеральный университет, КФУ
КАЗАНСКИЙ
ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ
 
CALCULATIONS OF RF PLASMA FLOW WITH METASTABLE ATOMS AT LOW PRESSURE
Форма представленияТезисы и материалы конференций в российских журналах и сборниках
Год публикации2016
Языкрусский
  • Шемахин Александр Юрьевич, автор
  • Желтухин Виктор Семенович, автор
  • Библиографическое описание на языке оригинала Calculations of rf plasma flow with metastable atoms at low pressure. Shemakhin A Yu, Zheltukhin V S // Book of Abstracts of "XXXI International Conference on Equations of State for Matter".- 2016.- C. 323.
    Аннотация Book of Abstracts of "XXXI International Conference on Equations of State for Matter"
    Ключевые слова mathematical modeling, RF plasma
    Название журнала Book of Abstracts of "XXXI International Conference on Equations of State for Matter"
    Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку https://repository.kpfu.ru/?p_id=130405

    Полная запись метаданных