Казанский (Приволжский) федеральный университет, КФУ
КАЗАНСКИЙ
ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ
 
LOW TEMPERATURE PLASMA RF CAPACITIVE DISCHARGE IN HELIUM AT ATMOSPHERIC PRESSURE
Форма представленияСтатьи в зарубежных журналах и сборниках
Год публикации2016
Языканглийский
  • Файрушин Ильназ Изаилович, автор
  • Библиографическое описание на языке оригинала Hakki A. Low temperature plasma RF capacitive discharge in helium at atmospheric pressure / A. Hakki, I Fayrushin I., N. Kashapov // Journal of Physics: Conference Series. - 2016. 669. Article number 012022
    Ключевые слова RF capacitive discharge, helium, atmospheric pressure
    Название журнала Journal of Physics: Conference Series
    Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку https://repository.kpfu.ru/?p_id=134627

    Полная запись метаданных