КФУ. Карточка публикации. Low temperature plasma RF capacitive discharge in helium at atmospheric pressure

КАЗАНСКИЙ
ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ

RUS

- EN
- 中文
- ES

LOW TEMPERATURE PLASMA RF CAPACITIVE DISCHARGE IN HELIUM AT ATMOSPHERIC PRESSURE

Форма представления

Статьи в зарубежных журналах и сборниках

Год публикации

2016

Язык

английский

Авторы, сотрудники КФУ

Файрушин Ильназ Изаилович, автор

Библиографическое описание на языке оригинала

Hakki A. Low temperature plasma RF capacitive discharge in helium at atmospheric pressure / A. Hakki, I Fayrushin I., N. Kashapov // Journal of Physics: Conference Series. - 2016. 669. Article number 012022

Ключевые слова

RF capacitive discharge, helium, atmospheric pressure

Название журнала

Journal of Physics: Conference Series

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку

https://repository.kpfu.ru/?p_id=134627

Полная запись метаданных

Поле DC	Значение	Язык
dc.contributor.author	Файрушин Ильназ Изаилович	ru_RU
dc.date.accessioned	2016-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2016-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2016	ru_RU
dc.identifier.citation	Hakki A. Low temperature plasma RF capacitive discharge in helium at atmospheric pressure / A. Hakki, I Fayrushin I., N. Kashapov // Journal of Physics: Conference Series. - 2016. 669. Article number 012022	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/?p_id=134627	ru_RU
dc.description.abstract	Journal of Physics: Conference Series	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject	RF capacitive discharge	ru_RU
dc.subject	helium	ru_RU
dc.subject	atmospheric pressure	ru_RU
dc.title	Low temperature plasma RF capacitive discharge in helium at atmospheric pressure	ru_RU
dc.type	Статьи в зарубежных журналах и сборниках	ru_RU