КФУ. Карточка публикации. Влияние режимов имплантации ионов серебра на структуру и оптические свойства нанокристаллических пленок оксида цинка

КАЗАНСКИЙ
ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ

RUS

- EN
- 中文
- ES

ВЛИЯНИЕ РЕЖИМОВ ИМПЛАНТАЦИИ ИОНОВ СЕРЕБРА НА СТРУКТУРУ И ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА НАНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЕНОК ОКСИДА ЦИНКА

Форма представления

Статьи в российских журналах и сборниках

Год публикации

2016

Язык

русский

Авторы, сотрудники КФУ

Гумаров Амир Илдусович, автор

Библиографическое описание на языке оригинала

Лядов, Н.М. Влияние режимов имплантации ионов серебра на структуру и оптические свойства нанокристаллических пленок оксида цинка/Н.М. Лядов, А.И. Гумаров, В.Ф. Валеев и др. // ЖТФ. - 2016. - Т.86, Вып.8. -С.118-124

Аннотация

Тонкие, толщиной 270 nm, нанокристаллические пленки оксида цинка (ZnO) были получены на кварцевых подложках методом ионного распыления и затем подвергнуты облучению ионами Ag+ с энергией 30 keV с высокими дозами при трех значениях плотности ионного тока: 4, 8 и 12 μA/cm2. Методами рентге- ноструктурного анализа, сканирующей электронной микроскопии и оптической спектроскопии исследовано влияние дозы облучения и плотности ионного тока на модификацию структуры и оптических свойств пленок ZnO. Обнаружено нетривиальное поведение структурных и оптических параметров пленок от режимов ионного облучения, что связано с радиационным нагревом и распылением пленки под действием ионного пучка, процессами диффузии примеси и формирования наночастиц серебра в облученном слое при высоких дозах имплантации, а также диффузией имплантированной примеси при повышенных плотностях ионного тока.

Ключевые слова

ионы серебра, ионная имплантация, оксид цинка, тонкие пленки

Название журнала

Журнал технической физики

URL

http://journals.ioffe.ru/articles/viewPDF/43467

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку

https://repository.kpfu.ru/?p_id=137997

Полная запись метаданных

Поле DC	Значение	Язык
dc.contributor.author	Гумаров Амир Илдусович	ru_RU
dc.date.accessioned	2016-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2016-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2016	ru_RU
dc.identifier.citation	Лядов, Н.М. Влияние режимов имплантации ионов серебра на структуру и оптические свойства нанокристаллических пленок оксида цинка/Н.М. Лядов, А.И. Гумаров, В.Ф. Валеев и др. // ЖТФ. - 2016. - Т.86, Вып.8. -С.118-124	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/?p_id=137997	ru_RU
dc.description.abstract	Журнал технической физики	ru_RU
dc.description.abstract	Тонкие, толщиной 270 nm, нанокристаллические пленки оксида цинка (ZnO) были получены на кварцевых подложках методом ионного распыления и затем подвергнуты облучению ионами Ag+ с энергией 30 keV с высокими дозами при трех значениях плотности ионного тока: 4, 8 и 12 μA/cm2. Методами рентге- ноструктурного анализа, сканирующей электронной микроскопии и оптической спектроскопии исследовано влияние дозы облучения и плотности ионного тока на модификацию структуры и оптических свойств пленок ZnO. Обнаружено нетривиальное поведение структурных и оптических параметров пленок от режимов ионного облучения, что связано с радиационным нагревом и распылением пленки под действием ионного пучка, процессами диффузии примеси и формирования наночастиц серебра в облученном слое при высоких дозах имплантации, а также диффузией имплантированной примеси при повышенных плотностях ионного тока.	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject	ионы серебра	ru_RU
dc.subject	ионная имплантация	ru_RU
dc.subject	оксид цинка	ru_RU
dc.subject	тонкие пленки	ru_RU
dc.title	Влияние режимов имплантации ионов серебра на структуру и оптические свойства нанокристаллических пленок оксида цинка	ru_RU
dc.type	Статьи в российских журналах и сборниках	ru_RU