КФУ. Карточка публикации. Microwave techniques for electron density measurements in low pressure RF plasmas

КАЗАНСКИЙ
ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ

RUS

- EN
- 中文
- ES

MICROWAVE TECHNIQUES FOR ELECTRON DENSITY MEASUREMENTS IN LOW PRESSURE RF PLASMAS

Форма представления

Тезисы и материалы конференций в зарубежных журналах и сборниках

Год публикации

2016

Язык

русский

Авторы, сотрудники КФУ

Шемахин Александр Юрьевич, автор

Другие авторы

Гафаров И А, автор

Желтухин Виктор Семенович, автор

Библиографическое описание на языке оригинала

Zheltukhin V., Gafarov I., Shemakhin A. Microwave techniques for electron density measurements in low pressure RF plasmas //Bulletin of the American Physical Society. – 2016.

Аннотация

Bulletin of the American Physical Society

Ключевые слова

plasma

Название журнала

Bulletin of the American Physical Society

URL

http://meetings.aps.org/Meeting/GEC16/Session/MW6.71

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку

https://repository.kpfu.ru/?p_id=138998

Полная запись метаданных

Поле DC	Значение	Язык
dc.contributor.author	Шемахин Александр Юрьевич	ru_RU
dc.contributor.author	Гафаров И А	ru_RU
dc.contributor.author	Желтухин Виктор Семенович	ru_RU
dc.date.accessioned	2016-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2016-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2016	ru_RU
dc.identifier.citation	Zheltukhin V., Gafarov I., Shemakhin A. Microwave techniques for electron density measurements in low pressure RF plasmas //Bulletin of the American Physical Society. – 2016.	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/?p_id=138998	ru_RU
dc.description.abstract	Bulletin of the American Physical Society	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject		ru_RU
dc.title	Microwave techniques for electron density measurements in low pressure RF plasmas	ru_RU
dc.type	Тезисы и материалы конференций в зарубежных журналах и сборниках	ru_RU