Казанский (Приволжский) федеральный университет, КФУ
КАЗАНСКИЙ
ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ
 
RSS Ins Вконтакте twitter facebook
ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ РЕЖИМОВ МАГНЕТРОННОГО НАПЫЛЕНИЯ НА СТРУКТУРНЫЕ И ПЛАЗМОННЫЕ СВОЙСТВА НИТРИДА ТИТАНА
Форма представленияТезисы и материалы конференций в российских журналах и сборниках
Год публикации2017
Языкрусский
  • Вахитов Искандер Рашидович, автор
  • Гумаров Амир Илдусович, автор
  • Никитин Сергей Иванович, автор
  • Салахов Мякзюм Халимулович, автор
  • Тагиров Ленар Рафгатович, автор
  • Харинцев Сергей Сергеевич, автор
  • Юсупов Роман Валерьевич, автор
  • Янилкин Игорь Витальевич, автор
  • Харитонов Антон Викторович, автор
  • Библиографическое описание на языке оригинала Исследование влияния режимов магнетронного напыления на структурные и плазмонные свойства нитрида титана / А.В. Харитонов [и др.] // VIII всероссийская (с международным участием) научно-техническая конференция;Низкотемпературная плазма в процессах нанесения функциональных покрытий : сборник статей. - Казань, 2016. - С. 78-83.
    Аннотация Низкотемпературная плазма в процессах нанесения функциональных покрытий
    Ключевые слова магнетронное распыление, нитрид титана, плазмонный резонанс, микроскопия комбинационного рассеяния света, тонкие пленки
    Название журнала Низкотемпературная плазма в процессах нанесения функциональных покрытий
    Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку https://repository.kpfu.ru/?p_id=152367

    Полная запись метаданных