| Форма представления | Тезисы и материалы конференций в российских журналах и сборниках |
| Год публикации | 2017 |
| Язык | русский |
|
Вахитов Искандер Рашидович, автор
Гумаров Амир Илдусович, автор
Никитин Сергей Иванович, автор
Салахов Мякзюм Халимулович, автор
Тагиров Ленар Рафгатович, автор
Харинцев Сергей Сергеевич, автор
Юсупов Роман Валерьевич, автор
Янилкин Игорь Витальевич, автор
|
|
Харитонов Антон Викторович, автор
|
| Библиографическое описание на языке оригинала |
Исследование влияния режимов магнетронного напыления на структурные и плазмонные свойства нитрида титана / А.В. Харитонов [и др.] // VIII всероссийская (с международным участием) научно-техническая конференция;Низкотемпературная плазма в процессах нанесения функциональных покрытий : сборник статей. - Казань, 2016. - С. 78-83. |
| Аннотация |
Низкотемпературная плазма в процессах нанесения функциональных покрытий |
| Ключевые слова |
магнетронное распыление, нитрид титана, плазмонный резонанс, микроскопия комбинационного рассеяния света, тонкие пленки |
| Название журнала |
Низкотемпературная плазма в процессах нанесения функциональных покрытий
|
| Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку |
https://repository.kpfu.ru/?p_id=152367 |
Полная запись метаданных  |
| Поле DC |
Значение |
Язык |
| dc.contributor.author |
Вахитов Искандер Рашидович |
ru_RU |
| dc.contributor.author |
Гумаров Амир Илдусович |
ru_RU |
| dc.contributor.author |
Никитин Сергей Иванович |
ru_RU |
| dc.contributor.author |
Салахов Мякзюм Халимулович |
ru_RU |
| dc.contributor.author |
Тагиров Ленар Рафгатович |
ru_RU |
| dc.contributor.author |
Харинцев Сергей Сергеевич |
ru_RU |
| dc.contributor.author |
Юсупов Роман Валерьевич |
ru_RU |
| dc.contributor.author |
Янилкин Игорь Витальевич |
ru_RU |
| dc.contributor.author |
Харитонов Антон Викторович |
ru_RU |
| dc.date.accessioned |
2017-01-01T00:00:00Z |
ru_RU |
| dc.date.available |
2017-01-01T00:00:00Z |
ru_RU |
| dc.date.issued |
2017 |
ru_RU |
| dc.identifier.citation |
Исследование влияния режимов магнетронного напыления на структурные и плазмонные свойства нитрида титана / А.В. Харитонов [и др.] // VIII всероссийская (с международным участием) научно-техническая конференция;Низкотемпературная плазма в процессах нанесения функциональных покрытий : сборник статей. - Казань, 2016. - С. 78-83. |
ru_RU |
| dc.identifier.uri |
https://repository.kpfu.ru/?p_id=152367 |
ru_RU |
| dc.description.abstract |
Низкотемпературная плазма в процессах нанесения функциональных покрытий |
ru_RU |
| dc.language.iso |
ru |
ru_RU |
| dc.subject |
магнетронное распыление |
ru_RU |
| dc.subject |
нитрид титана |
ru_RU |
| dc.subject |
плазмонный резонанс |
ru_RU |
| dc.subject |
микроскопия комбинационного рассеяния света |
ru_RU |
| dc.subject |
тонкие пленки |
ru_RU |
| dc.title |
Исследование влияния режимов магнетронного напыления на структурные и плазмонные свойства нитрида титана |
ru_RU |
| dc.type |
Тезисы и материалы конференций в российских журналах и сборниках |
ru_RU |
|
EN 
中文 
ES 
Карта сайта
