Казанский (Приволжский) федеральный университет, КФУ
КАЗАНСКИЙ
ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ
 
RSS Ins Вконтакте twitter facebook
LOW TEMPERATURE PLASMA RF CAPACITIVE DISCHARGE IN HELIUM AT ATMOSPHERIC PRESSURE
Форма представленияСтатьи в зарубежных журналах и сборниках
Год публикации2016
  • Кашапов Наиль Фаикович, автор
  • Файрушин Ильназ Изаилович, автор
  • Хакки Аднан , автор
  • Библиографическое описание на языке оригинала Hakki, A. Low temperature plasma RF capacitive discharge in helium at atmospheric pressure / A. Hakki, I. Fayrushin, N. Kashapov // Low temperature Plasma in the Processes of Functional Coating Preparation - Journal of Physics: Conference Series. - 2016. - V. 669. - 012022.
    Ключевые слова Low temperature plasma, RF capacitive discharge
    Название журнала Journal of Physics: Conference Series
    Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку https://repository.kpfu.ru/?p_id=152489

    Полная запись метаданных