КФУ. Карточка публикации. Low temperature plasma RF capacitive discharge in helium at atmospheric pressure

КАЗАНСКИЙ
ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ

RUS

- EN
- 中文
- ES

LOW TEMPERATURE PLASMA RF CAPACITIVE DISCHARGE IN HELIUM AT ATMOSPHERIC PRESSURE

Форма представления

Статьи в зарубежных журналах и сборниках

Год публикации

2016

Авторы, сотрудники КФУ

Кашапов Наиль Фаикович, автор

Файрушин Ильназ Изаилович, автор

Авторы, аспиранты КФУ

Хакки Аднан , автор

Библиографическое описание на языке оригинала

Hakki, A. Low temperature plasma RF capacitive discharge in helium at atmospheric pressure / A. Hakki, I. Fayrushin, N. Kashapov // Low temperature Plasma in the Processes of Functional Coating Preparation - Journal of Physics: Conference Series. - 2016. - V. 669. - 012022.

Ключевые слова

Low temperature plasma, RF capacitive discharge

Название журнала

Journal of Physics: Conference Series

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку

https://repository.kpfu.ru/?p_id=152489

Полная запись метаданных

Поле DC	Значение	Язык
dc.contributor.author	Кашапов Наиль Фаикович	ru_RU
dc.contributor.author	Файрушин Ильназ Изаилович	ru_RU
dc.contributor.author	Хакки Аднан	ru_RU
dc.date.accessioned	2016-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2016-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2016	ru_RU
dc.identifier.citation	Hakki, A. Low temperature plasma RF capacitive discharge in helium at atmospheric pressure / A. Hakki, I. Fayrushin, N. Kashapov // Low temperature Plasma in the Processes of Functional Coating Preparation - Journal of Physics: Conference Series. - 2016. - V. 669. - 012022.	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/?p_id=152489	ru_RU
dc.description.abstract	Journal of Physics: Conference Series	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject	Low temperature plasma	ru_RU
dc.subject	RF capacitive discharge	ru_RU
dc.title	Low temperature plasma RF capacitive discharge in helium at atmospheric pressure	ru_RU
dc.type	Статьи в зарубежных журналах и сборниках	ru_RU