| Форма представления | Статьи в зарубежных журналах и сборниках |
| Год публикации | 2016 |
| Язык | английский |
|
Асхатов Радик Мухаметгалеевич, автор
Желтухин Виктор Семенович, автор
Чебакова Виолетта Юрьевна, автор
|
| Библиографическое описание на языке оригинала |
Askhatov R.M, Chebakova V.Yu, Zheltukhin V.S., Capacitive coupled RF discharge: Modelling at the local and not local statement of the problem//IOP Conference Series: Materials Science and Engineering. - 2016. - Vol.158, Is.1. - Art. № 012009. |
| Ключевые слова |
математическое моделирование |
| Название журнала |
IOP Conference Series: Materials Science and Engineering
|
| URL |
https://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-85014412491&partnerID=40&md5=f4c6e9770cdd108f3d7c0e6dd11f48f4 |
| Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку |
https://repository.kpfu.ru/?p_id=154112 |
Полная запись метаданных  |
| Поле DC |
Значение |
Язык |
| dc.contributor.author |
Асхатов Радик Мухаметгалеевич |
ru_RU |
| dc.contributor.author |
Желтухин Виктор Семенович |
ru_RU |
| dc.contributor.author |
Чебакова Виолетта Юрьевна |
ru_RU |
| dc.date.accessioned |
2016-01-01T00:00:00Z |
ru_RU |
| dc.date.available |
2016-01-01T00:00:00Z |
ru_RU |
| dc.date.issued |
2016 |
ru_RU |
| dc.identifier.citation |
Askhatov R.M, Chebakova V.Yu, Zheltukhin V.S., Capacitive coupled RF discharge: Modelling at the local and not local statement of the problem//IOP Conference Series: Materials Science and Engineering. - 2016. - Vol.158, Is.1. - Art. № 012009. |
ru_RU |
| dc.identifier.uri |
https://repository.kpfu.ru/?p_id=154112 |
ru_RU |
| dc.description.abstract |
IOP Conference Series: Materials Science and Engineering |
ru_RU |
| dc.language.iso |
ru |
ru_RU |
| dc.subject |
|
ru_RU |
| dc.title |
Capacitive coupled RF discharge: Modelling at the local and not local statement of the problem |
ru_RU |
| dc.type |
Статьи в зарубежных журналах и сборниках |
ru_RU |
|
EN 
中文 
ES 
Карта сайта
