КФУ. Карточка публикации. Solution of the problem of interaction between capacitive coupled radio-frequency discharge and a sample

КАЗАНСКИЙ
ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ

RUS

- EN
- 中文
- ES

SOLUTION OF THE PROBLEM OF INTERACTION BETWEEN CAPACITIVE COUPLED RADIO-FREQUENCY DISCHARGE AND A SAMPLE

Форма представления

Статьи в зарубежных журналах и сборниках

Год публикации

2016

Язык

английский

Авторы, сотрудники КФУ

Чебакова Виолетта Юрьевна, автор

Библиографическое описание на языке оригинала

Chebakova V.Ju, Gaisin A.F, Zheltukhin V.S., Solution of the problem of interaction between capacitive coupled radio-frequency discharge and a sample//IOP Conference Series: Materials Science and Engineering. - 2016. - Vol.158, Is.1. - Art. № 012024.

Ключевые слова

математическое моделирование

Название журнала

IOP Conference Series: Materials Science and Engineering

URL

https://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-85014409840&partnerID=40&md5=1fc78562fad48201927e2102bb7f6256

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку

https://repository.kpfu.ru/?p_id=154115

Полная запись метаданных

Поле DC	Значение	Язык
dc.contributor.author	Чебакова Виолетта Юрьевна	ru_RU
dc.date.accessioned	2016-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2016-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2016	ru_RU
dc.identifier.citation	Chebakova V.Ju, Gaisin A.F, Zheltukhin V.S., Solution of the problem of interaction between capacitive coupled radio-frequency discharge and a sample//IOP Conference Series: Materials Science and Engineering. - 2016. - Vol.158, Is.1. - Art. № 012024.	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/?p_id=154115	ru_RU
dc.description.abstract	IOP Conference Series: Materials Science and Engineering	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject		ru_RU
dc.title	Solution of the problem of interaction between capacitive coupled radio-frequency discharge and a sample	ru_RU
dc.type	Статьи в зарубежных журналах и сборниках	ru_RU