| Форма представления | Статьи в зарубежных журналах и сборниках |
| Год публикации | 2016 |
| Язык | английский |
|
Желтухин Виктор Семенович, автор
Чебакова Виолетта Юрьевна, автор
|
| Библиографическое описание на языке оригинала |
Chebakova V.Ju, Gaisin A.F, Zheltukhin V.S., Solution of the problem of interaction between capacitive coupled radio-frequency discharge and a sample//IOP Conference Series: Materials Science and Engineering. - 2016. - Vol.158, Is.1. - Art. № 012024. |
| Ключевые слова |
математическое моделирование |
| Название журнала |
IOP Conference Series: Materials Science and Engineering
|
| URL |
https://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-85014409840&partnerID=40&md5=1fc78562fad48201927e2102bb7f6256 |
| Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку |
https://repository.kpfu.ru/?p_id=154115 |
Полная запись метаданных  |
| Поле DC |
Значение |
Язык |
| dc.contributor.author |
Желтухин Виктор Семенович |
ru_RU |
| dc.contributor.author |
Чебакова Виолетта Юрьевна |
ru_RU |
| dc.date.accessioned |
2016-01-01T00:00:00Z |
ru_RU |
| dc.date.available |
2016-01-01T00:00:00Z |
ru_RU |
| dc.date.issued |
2016 |
ru_RU |
| dc.identifier.citation |
Chebakova V.Ju, Gaisin A.F, Zheltukhin V.S., Solution of the problem of interaction between capacitive coupled radio-frequency discharge and a sample//IOP Conference Series: Materials Science and Engineering. - 2016. - Vol.158, Is.1. - Art. № 012024. |
ru_RU |
| dc.identifier.uri |
https://repository.kpfu.ru/?p_id=154115 |
ru_RU |
| dc.description.abstract |
IOP Conference Series: Materials Science and Engineering |
ru_RU |
| dc.language.iso |
ru |
ru_RU |
| dc.subject |
|
ru_RU |
| dc.title |
Solution of the problem of interaction between capacitive coupled radio-frequency discharge and a sample |
ru_RU |
| dc.type |
Статьи в зарубежных журналах и сборниках |
ru_RU |
|
EN 
中文 
ES 
Карта сайта
