КФУ. Карточка публикации. Capacitive coupled RF discharge: Modelling at the local statement of the problem

КАЗАНСКИЙ
ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ

RUS

- EN
- 中文
- ES

CAPACITIVE COUPLED RF DISCHARGE: MODELLING AT THE LOCAL STATEMENT OF THE PROBLEM

Форма представления

Статьи в зарубежных журналах и сборниках

Год публикации

2017

Язык

английский

Авторы, сотрудники КФУ

Бадриев Ильдар Бурханович, автор

Желтухин Виктор Семенович, автор

Чебакова Виолетта Юрьевна, автор

Библиографическое описание на языке оригинала

Badriev I.B, Chebakova V.Y, Zheltukhin V.S., Capacitive coupled RF discharge: Modelling at the local statement of the problem//Journal of Physics: Conference Series. - 2017. - Vol.789, Is.1. - Art. № 012004.

Ключевые слова

Capacitive coupled RF discharge

Название журнала

Journal of Physics: Conference Series

URL

https://www.scopus.com/inward/record.uri?eid=2-s2.0-85014627586&doi=10.1088%2f1742-6596%2f789%2f1%2f012004&partnerID=40&md5=1682ca450d52e2047149f690d1c0f2d7

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку

https://repository.kpfu.ru/?p_id=159462

Полная запись метаданных

Поле DC	Значение	Язык
dc.contributor.author	Бадриев Ильдар Бурханович	ru_RU
dc.contributor.author	Желтухин Виктор Семенович	ru_RU
dc.contributor.author	Чебакова Виолетта Юрьевна	ru_RU
dc.date.accessioned	2017-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2017-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2017	ru_RU
dc.identifier.citation	Badriev I.B, Chebakova V.Y, Zheltukhin V.S., Capacitive coupled RF discharge: Modelling at the local statement of the problem//Journal of Physics: Conference Series. - 2017. - Vol.789, Is.1. - Art. № 012004.	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/?p_id=159462	ru_RU
dc.description.abstract	Journal of Physics: Conference Series	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject		ru_RU
dc.title	Capacitive coupled RF discharge: Modelling at the local statement of the problem	ru_RU
dc.type	Статьи в зарубежных журналах и сборниках	ru_RU