Казанский (Приволжский) федеральный университет, КФУ
КАЗАНСКИЙ
ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ
 
SIMULATION OF RAREFIED LOW PRESSURE RF PLASMA FLOW AROUND THE SAMPLE
Форма представленияСтатьи в зарубежных журналах и сборниках
Год публикации2017
Языканглийский
  • Желтухин Виктор Семенович, автор
  • Шемахин Александр Юрьевич, автор
  • Желтухин Виктор Семенович, автор
  • Библиографическое описание на языке оригинала Zheltukhin V.S, Shemakhin A.Y., Simulation of rarefied low pressure RF plasma flow around the sample//Journal of Physics: Conference Series. - 2017. - Vol.789, Is.1. - Art. № 012071.
    Ключевые слова математическое моделирование, ВЧ-плазма, пониженное давление
    Название журнала Journal of Physics: Conference Series
    URL https://www.scopus.com/inward/record.uri?eid=2-s2.0-85014707974&doi=10.1088%2f1742-6596%2f789%2f1%2f012071&partnerID=40&md5=115c4be666f61f43c7811d478efc89e2
    Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку https://repository.kpfu.ru/?p_id=163827

    Полная запись метаданных