КФУ. Карточка публикации. Simulation of rarefied low pressure RF plasma flow around the sample

КАЗАНСКИЙ
ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ

RUS

- EN
- 中文
- ES

SIMULATION OF RAREFIED LOW PRESSURE RF PLASMA FLOW AROUND THE SAMPLE

Форма представления

Статьи в зарубежных журналах и сборниках

Год публикации

2017

Язык

английский

Авторы, сотрудники КФУ

Шемахин Александр Юрьевич, автор

Другие авторы

Желтухин Виктор Семенович, автор

Библиографическое описание на языке оригинала

Zheltukhin V.S, Shemakhin A.Y., Simulation of rarefied low pressure RF plasma flow around the sample//Journal of Physics: Conference Series. - 2017. - Vol.789, Is.1. - Art. № 012071.

Ключевые слова

математическое моделирование, ВЧ-плазма, пониженное давление

Название журнала

Journal of Physics: Conference Series

URL

https://www.scopus.com/inward/record.uri?eid=2-s2.0-85014707974&doi=10.1088%2f1742-6596%2f789%2f1%2f012071&partnerID=40&md5=115c4be666f61f43c7811d478efc89e2

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку

https://repository.kpfu.ru/?p_id=163827

Полная запись метаданных

Поле DC	Значение	Язык
dc.contributor.author	Шемахин Александр Юрьевич	ru_RU
dc.contributor.author	Желтухин Виктор Семенович	ru_RU
dc.date.accessioned	2017-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2017-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2017	ru_RU
dc.identifier.citation	Zheltukhin V.S, Shemakhin A.Y., Simulation of rarefied low pressure RF plasma flow around the sample//Journal of Physics: Conference Series. - 2017. - Vol.789, Is.1. - Art. № 012071.	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/?p_id=163827	ru_RU
dc.description.abstract	Journal of Physics: Conference Series	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject	математическое моделирование	ru_RU
dc.subject	ВЧ-плазма	ru_RU
dc.subject	пониженное давление	ru_RU
dc.title	Simulation of rarefied low pressure RF plasma flow around the sample	ru_RU
dc.type	Статьи в зарубежных журналах и сборниках	ru_RU