Форма представления | Статьи в зарубежных журналах и сборниках |
Год публикации | 2017 |
Язык | английский |
|
Желтухин Виктор Семенович, автор
Шемахин Александр Юрьевич, автор
|
|
Желтухин Виктор Семенович, автор
|
Библиографическое описание на языке оригинала |
Zheltukhin V.S, Shemakhin A.Y., Simulation of rarefied low pressure RF plasma flow around the sample//Journal of Physics: Conference Series. - 2017. - Vol.789, Is.1. - Art. № 012071. |
Ключевые слова |
математическое моделирование, ВЧ-плазма, пониженное давление |
Название журнала |
Journal of Physics: Conference Series
|
URL |
https://www.scopus.com/inward/record.uri?eid=2-s2.0-85014707974&doi=10.1088%2f1742-6596%2f789%2f1%2f012071&partnerID=40&md5=115c4be666f61f43c7811d478efc89e2 |
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку |
https://repository.kpfu.ru/?p_id=163827 |
Полная запись метаданных |
Поле DC |
Значение |
Язык |
dc.contributor.author |
Желтухин Виктор Семенович |
ru_RU |
dc.contributor.author |
Шемахин Александр Юрьевич |
ru_RU |
dc.contributor.author |
Желтухин Виктор Семенович |
ru_RU |
dc.date.accessioned |
2017-01-01T00:00:00Z |
ru_RU |
dc.date.available |
2017-01-01T00:00:00Z |
ru_RU |
dc.date.issued |
2017 |
ru_RU |
dc.identifier.citation |
Zheltukhin V.S, Shemakhin A.Y., Simulation of rarefied low pressure RF plasma flow around the sample//Journal of Physics: Conference Series. - 2017. - Vol.789, Is.1. - Art. № 012071. |
ru_RU |
dc.identifier.uri |
https://repository.kpfu.ru/?p_id=163827 |
ru_RU |
dc.description.abstract |
Journal of Physics: Conference Series |
ru_RU |
dc.language.iso |
ru |
ru_RU |
dc.subject |
математическое моделирование |
ru_RU |
dc.subject |
ВЧ-плазма |
ru_RU |
dc.subject |
пониженное давление |
ru_RU |
dc.title |
Simulation of rarefied low pressure RF plasma flow around the sample |
ru_RU |
dc.type |
Статьи в зарубежных журналах и сборниках |
ru_RU |
|