КФУ. Карточка публикации. Mathematical modelling of RF plasma flow with metastable atoms at low pressure

КАЗАНСКИЙ
ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ

RUS

- EN
- 中文
- ES

MATHEMATICAL MODELLING OF RF PLASMA FLOW WITH METASTABLE ATOMS AT LOW PRESSURE

Форма представления

Тезисы и материалы конференций в российских журналах и сборниках

Год публикации

2017

Язык

русский

Авторы, сотрудники КФУ

Шемахин Александр Юрьевич, автор

Другие авторы

Желтухин Виктор Семенович, автор

Библиографическое описание на языке оригинала

Shemakhin A.Yu., Zheltukhin V.S. Mathematical modelling of RF plasma flow with metastable atoms at low pressure// Сборник тезисов международной конференции «Interaction of Intense Energy Fluxes with Matter«, 2017.- C.96

Аннотация

Сборник тезисов международной конференции "Interaction of Intense Energy Fluxes with Matter", 2017 г.

Ключевые слова

математическое моделирование, ВЧ-плазма, метастабили, пониженное давление

Название журнала

Сборник тезисов международной конференции "Interaction of Intense Energy Fluxes with Matter", 2017 г.

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку

https://repository.kpfu.ru/?p_id=163828

Полная запись метаданных

Поле DC	Значение	Язык
dc.contributor.author	Шемахин Александр Юрьевич	ru_RU
dc.contributor.author	Желтухин Виктор Семенович	ru_RU
dc.date.accessioned	2017-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2017-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2017	ru_RU
dc.identifier.citation	Shemakhin A.Yu., Zheltukhin V.S. Mathematical modelling of RF plasma flow with metastable atoms at low pressure// Сборник тезисов международной конференции «Interaction of Intense Energy Fluxes with Matter«, 2017.- C.96	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/?p_id=163828	ru_RU
dc.description.abstract	Сборник тезисов международной конференции "Interaction of Intense Energy Fluxes with Matter", 2017 г.	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject	математическое моделирование	ru_RU
dc.subject	ВЧ-плазма	ru_RU
dc.subject	метастабили	ru_RU
dc.subject	пониженное давление	ru_RU
dc.title	Mathematical modelling of RF plasma flow with metastable atoms at low pressure	ru_RU
dc.type	Тезисы и материалы конференций в российских журналах и сборниках	ru_RU