Казанский (Приволжский) федеральный университет, КФУ
КАЗАНСКИЙ
ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ
 
RSS Ins Вконтакте twitter facebook
ELECTRICAL PROPERTIES OF TITANIUM NITRIDE FILMS SYNTHESIZED BY REACTIVE MAGNETRON SPUTTERING
Форма представленияТезисы и материалы конференций в российских журналах и сборниках
Год публикации2017
Языканглийский
  • Вахитов Искандер Рашидович, автор
  • Гумаров Амир Илдусович, автор
  • Никитин Сергей Иванович, автор
  • Тагиров Ленар Рафгатович, автор
  • Юсупов Роман Валерьевич, автор
  • Янилкин Игорь Витальевич, автор
  • Мохаммед Ваель Мохаммед Махмуд, автор
  • Библиографическое описание на языке оригинала Mohammed W.M. Electrical properties of titanium nitride films synthesized by reactive magnetron sputtering / W.M. Mohammed, A.I. Gumarov, I.R. Vakhitov, I.V. Yanilkin, S.I. Nikitin, L.R. Tagirov, R.V. Yusupov // Физика низкотемпературной плазмы: всероссийская (с международным участием) конференция: - Казань: изд-во ?Отечество?, 2017. - 264 с.
    Ключевые слова Titanium nitride, film, magnetron sputtering
    Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку https://repository.kpfu.ru/?p_id=164827
    Файлы ресурса 
    Название файла Размер (Мб) Формат  
    LTP_2017_abstracts.pdf 0,40 pdf посмотреть / скачать

    Полная запись метаданных