КФУ. Карточка публикации. Electrical properties of titanium nitride films synthesized by reactive magnetron sputtering

КАЗАНСКИЙ
ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ

RUS

- EN
- 中文
- ES

ELECTRICAL PROPERTIES OF TITANIUM NITRIDE FILMS SYNTHESIZED BY REACTIVE MAGNETRON SPUTTERING

Форма представления

Тезисы и материалы конференций в российских журналах и сборниках

Год публикации

2017

Язык

английский

Авторы, сотрудники КФУ

Вахитов Искандер Рашидович, автор

Гумаров Амир Илдусович, автор

Никитин Сергей Иванович, автор

Тагиров Ленар Рафгатович, автор

Юсупов Роман Валерьевич, автор

Янилкин Игорь Витальевич, автор

Авторы, аспиранты КФУ

Мохаммед Ваель Мохаммед Махмуд, автор

Библиографическое описание на языке оригинала

Mohammed W.M. Electrical properties of titanium nitride films synthesized by reactive magnetron sputtering / W.M. Mohammed, A.I. Gumarov, I.R. Vakhitov, I.V. Yanilkin, S.I. Nikitin, L.R. Tagirov, R.V. Yusupov // Физика низкотемпературной плазмы: всероссийская (с международным участием) конференция: - Казань: изд-во ?Отечество?, 2017. - 264 с.

Ключевые слова

Titanium nitride, film, magnetron sputtering

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку

https://repository.kpfu.ru/?p_id=164827

Файлы ресурса

Название файла	Размер (Мб)	Формат
LTP_2017_abstracts.pdf	0,40	pdf	посмотреть / скачать

Полная запись метаданных

Поле DC	Значение	Язык
dc.contributor.author	Вахитов Искандер Рашидович	ru_RU
dc.contributor.author	Гумаров Амир Илдусович	ru_RU
dc.contributor.author	Никитин Сергей Иванович	ru_RU
dc.contributor.author	Тагиров Ленар Рафгатович	ru_RU
dc.contributor.author	Юсупов Роман Валерьевич	ru_RU
dc.contributor.author	Янилкин Игорь Витальевич	ru_RU
dc.contributor.author	Мохаммед Ваель Мохаммед Махмуд	ru_RU
dc.date.accessioned	2017-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2017-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2017	ru_RU
dc.identifier.citation	Mohammed W.M. Electrical properties of titanium nitride films synthesized by reactive magnetron sputtering / W.M. Mohammed, A.I. Gumarov, I.R. Vakhitov, I.V. Yanilkin, S.I. Nikitin, L.R. Tagirov, R.V. Yusupov // Физика низкотемпературной плазмы: всероссийская (с международным участием) конференция: - Казань: изд-во ?Отечество?, 2017. - 264 с.	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/?p_id=164827	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject	Titanium nitride	ru_RU
dc.subject	film	ru_RU
dc.subject	magnetron sputtering	ru_RU
dc.title	Electrical properties of titanium nitride films synthesized by reactive magnetron sputtering	ru_RU
dc.type	Тезисы и материалы конференций в российских журналах и сборниках	ru_RU