Форма представления | Тезисы и материалы конференций в российских журналах и сборниках |
Год публикации | 2017 |
Язык | русский |
|
Воробьев Вячеслав Валерьевич, автор
Осин Юрий Николаевич, автор
Рогов Алексей Михайлович, автор
Степанов Андрей Львович, автор
|
Библиографическое описание на языке оригинала |
Рогов А.М. Сканирующая зондовая микроскопия кремниевых и германиевых слоев, имплантированных ионами серебра / А.М.Рогов, В.В. Воробьев, Ю.Н. Осин, В.И. Нуждин, В.Ф. Валеев, А.Л. Степанов // Тезисы конференции Физика Спб 2017. - 2017. - С. 56-57 |
Аннотация |
Тезисы конференции Физика Спб 2017 |
Ключевые слова |
микроскопия, пористые материалы, ионная имплантация, полупроводники |
Название журнала |
Тезисы конференции Физика Спб 2017
|
URL |
http://physica.spb.ru/data/uploads/physica2017thesises.html |
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку |
https://repository.kpfu.ru/?p_id=167437 |
Полная запись метаданных |
Поле DC |
Значение |
Язык |
dc.contributor.author |
Воробьев Вячеслав Валерьевич |
ru_RU |
dc.contributor.author |
Осин Юрий Николаевич |
ru_RU |
dc.contributor.author |
Рогов Алексей Михайлович |
ru_RU |
dc.contributor.author |
Степанов Андрей Львович |
ru_RU |
dc.date.accessioned |
2017-01-01T00:00:00Z |
ru_RU |
dc.date.available |
2017-01-01T00:00:00Z |
ru_RU |
dc.date.issued |
2017 |
ru_RU |
dc.identifier.citation |
Рогов А.М. Сканирующая зондовая микроскопия кремниевых и германиевых слоев, имплантированных ионами серебра / А.М.Рогов, В.В. Воробьев, Ю.Н. Осин, В.И. Нуждин, В.Ф. Валеев, А.Л. Степанов // Тезисы конференции Физика Спб 2017. - 2017. - С. 56-57 |
ru_RU |
dc.identifier.uri |
https://repository.kpfu.ru/?p_id=167437 |
ru_RU |
dc.description.abstract |
Тезисы конференции Физика Спб 2017 |
ru_RU |
dc.language.iso |
ru |
ru_RU |
dc.subject |
микроскопия |
ru_RU |
dc.subject |
пористые материалы |
ru_RU |
dc.subject |
ионная имплантация |
ru_RU |
dc.subject |
полупроводники |
ru_RU |
dc.title |
Сканирующая зондовая микроскопия кремниевых и германиевых слоев, имплантированных ионами серебра |
ru_RU |
dc.type |
Тезисы и материалы конференций в российских журналах и сборниках |
ru_RU |
|