Казанский (Приволжский) федеральный университет, КФУ
КАЗАНСКИЙ
ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ
 
MATHEMATICAL MODELING OF RF PLASMA FLOW WITH METASTABLE ATOMS AT LOW PRESSURE
Форма представленияСтатьи в зарубежных журналах и сборниках
Год публикации2017
Языканглийский
  • Шемахин Александр Юрьевич, автор
  • Библиографическое описание на языке оригинала Shemakhin A. Yu., Zheltukhin V. S., MATHEMATICAL MODELING OF RF PLASMA FLOW WITH METASTABLE ATOMS AT LOW PRESSURE//MATHEMATICA MONTISNIGRI. - 2017. - Vol.39, Is.. - P.126-132.
    Ключевые слова mathematical modeling, gas-dynamics, rf plasma, low pressure, plasma flow
    Название журнала MATHEMATICA MONTISNIGRI
    Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку https://repository.kpfu.ru/?p_id=173604

    Полная запись метаданных