| Форма представления | Статьи в зарубежных журналах и сборниках |
| Год публикации | 2017 |
| Язык | английский |
|
Бадриев Ильдар Бурханович, автор
Желтухин Виктор Семенович, автор
Чебакова Виолетта Юрьевна, автор
|
| Библиографическое описание на языке оригинала |
Badriev I.B, Zheltukhin V.S, Ju Chebakova V., Numerical solution of the initial boundary value problems of radio-frequency capacitive coupled discharge.//Journal of Physics: Conference Series. - 2017. - Vol.927, Is.1. - Art. № 012008. |
| Ключевые слова |
высокочастотный емкостный разряд |
| Название журнала |
Journal of Physics: Conference Series
|
| URL |
https://www.scopus.com/inward/record.uri?eid=2-s2.0-85037681324&doi=10.1088%2f1742-6596%2f927%2f1%2f012008&partnerID=40&md5=1ce2393e3c2559aa98564794a8cb85b7 |
| Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку |
https://repository.kpfu.ru/?p_id=175413 |
Полная запись метаданных  |
| Поле DC |
Значение |
Язык |
| dc.contributor.author |
Бадриев Ильдар Бурханович |
ru_RU |
| dc.contributor.author |
Желтухин Виктор Семенович |
ru_RU |
| dc.contributor.author |
Чебакова Виолетта Юрьевна |
ru_RU |
| dc.date.accessioned |
2017-01-01T00:00:00Z |
ru_RU |
| dc.date.available |
2017-01-01T00:00:00Z |
ru_RU |
| dc.date.issued |
2017 |
ru_RU |
| dc.identifier.citation |
Badriev I.B, Zheltukhin V.S, Ju Chebakova V., Numerical solution of the initial boundary value problems of radio-frequency capacitive coupled discharge.//Journal of Physics: Conference Series. - 2017. - Vol.927, Is.1. - Art. № 012008. |
ru_RU |
| dc.identifier.uri |
https://repository.kpfu.ru/?p_id=175413 |
ru_RU |
| dc.description.abstract |
Journal of Physics: Conference Series |
ru_RU |
| dc.language.iso |
ru |
ru_RU |
| dc.subject |
|
ru_RU |
| dc.title |
Numerical solution of the initial boundary value problems of radio-frequency capacitive coupled discharge. |
ru_RU |
| dc.type |
Статьи в зарубежных журналах и сборниках |
ru_RU |
|
EN 
中文 
ES 
Карта сайта
