КФУ. Карточка публикации. Характеризация распыления поверхности кремния при имплантации ионами серебра методом сканирующей зондовой микроскопии

КАЗАНСКИЙ
ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ

RUS

- EN
- 中文
- ES

ХАРАКТЕРИЗАЦИЯ РАСПЫЛЕНИЯ ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЯ ПРИ ИМПЛАНТАЦИИ ИОНАМИ СЕРЕБРА МЕТОДОМ СКАНИРУЮЩЕЙ ЗОНДОВОЙ МИКРОСКОПИИ

Форма представления

Тезисы и материалы конференций в российских журналах и сборниках

Год публикации

2018

Язык

русский

Авторы, сотрудники КФУ

Воробьев Вячеслав Валерьевич, автор

Осин Юрий Николаевич, автор

Рогов Алексей Михайлович, автор

Степанов Андрей Львович, автор

Другие авторы

Валеев В Ф, автор

Нуждин В И, автор

Авторы, аспиранты КФУ

Воробьев Вячеслав Валерьевич, автор

Библиографическое описание на языке оригинала

Воробьев В.В., Рогов А.М., Осин Ю.Н., Нуждин В.И., Валеев В.Ф., Степанов А.Л., Характеризация распыления поверхности кремния при имплантации ионами серебра методом сканирующей зондовой микроскопии // Сборник тезисов XXVII Российской конференции «Современные методы электронной и зондовой микроскопии в исследованиях органических, неорганических наноструктур и нано-биоматериалов» Том № 2, – Черноголовка, 28-30 августа 2018г. С 123-124.

Аннотация

Сборник тезисов XXVII Российской конференции ?Современные методы электронной и зондовой микроскопии в исследованиях органических, неорганических наноструктур и нано-биоматериалов? Том № 2

Ключевые слова

ионная имплантация, кремний, ионы серебра

Название журнала

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку

https://repository.kpfu.ru/?p_id=184374

Файлы ресурса

Название файла	Размер (Мб)	Формат
F_Step_2018_RCEM_Vorobev_Sputt_Ag_Si.pdf	0,45	pdf	посмотреть / скачать

Полная запись метаданных

Поле DC	Значение	Язык
dc.contributor.author	Воробьев Вячеслав Валерьевич	ru_RU
dc.contributor.author	Осин Юрий Николаевич	ru_RU
dc.contributor.author	Рогов Алексей Михайлович	ru_RU
dc.contributor.author	Степанов Андрей Львович	ru_RU
dc.contributor.author	Валеев В Ф	ru_RU
dc.contributor.author	Нуждин В И	ru_RU
dc.contributor.author	Воробьев Вячеслав Валерьевич	ru_RU
dc.date.accessioned	2018-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2018-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2018	ru_RU
dc.identifier.citation	Воробьев В.В., Рогов А.М., Осин Ю.Н., Нуждин В.И., Валеев В.Ф., Степанов А.Л., Характеризация распыления поверхности кремния при имплантации ионами серебра методом сканирующей зондовой микроскопии // Сборник тезисов XXVII Российской конференции «Современные методы электронной и зондовой микроскопии в исследованиях органических, неорганических наноструктур и нано-биоматериалов» Том № 2, – Черноголовка, 28-30 августа 2018г. С 123-124.	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/?p_id=184374	ru_RU
dc.description.abstract	Сборник тезисов XXVII Российской конференции ?Современные методы электронной и зондовой микроскопии в исследованиях органических, неорганических наноструктур и нано-биоматериалов? Том № 2	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject	ионная имплантация	ru_RU
dc.subject	кремний	ru_RU
dc.subject	ионы серебра	ru_RU
dc.title	Характеризация распыления поверхности кремния при имплантации ионами серебра методом сканирующей зондовой микроскопии	ru_RU
dc.type	Тезисы и материалы конференций в российских журналах и сборниках	ru_RU