Казанский (Приволжский) федеральный университет, КФУ
КАЗАНСКИЙ
ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ
 
АБДУЛЛИН И.Ш., ЖЕЛТУХИН В.С., САГБИЕВ И.Р., ШАРАФЕЕВ Р.Ф. О ФИЗИЧЕСКОМ МЕХАНИЗМЕ ФОРМИРОВАНИЯ НАНОДИФФУЗНЫХ ПОКРЫТИЙ В ВЫСОКОЧАСТОТНОЙ ПЛАЗМЕ ПОНИЖЕННОГО ДАВЛЕНИЯ // СБ. ДОКЛ. XXXVI МЕЖДУНАРОДНОЙ (ЗВЕНИГОРОДСКОЙ) КОНФЕРЕНЦИИ ПО ФИЗИКЕ ПЛАЗМЫ И УТС. - ЗВЕНИГОРОД, 2009. - С.305
Форма представленияСтатьи в российских журналах и сборниках
Год публикации2009
  • Желтухин Виктор Семенович, автор
  • Библиографическое описание на языке оригинала Абдуллин И.Ш., Желтухин В.С., Сагбиев И.Р., Шарафеев Р.Ф. О физическом механизме формирования нанодиффузных покрытий в высокочастотной плазме пониженного давления // Сб. докл. XXXVI Международной (Звенигородской) конференции по физике плазмы и УТС. - Звенигород, 2009. - С.305
    Аннотация Сб. докл. XXXVI Международной (Звенигородской) конференции по физике плазмы и УТС.
    Место издания Москва
    Название журнала Сб. докл. XXXVI Международной (Звенигородской) конференции по физике плазмы и УТС.
    Издательство ЗАО ИТЦ "ПЛАЗМАИОФАН"
    Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку https://repository.kpfu.ru/?p_id=18549

    Полная запись метаданных