КФУ. Карточка публикации. Simulation of electron moving in RF capacitively coupled discharge

КАЗАНСКИЙ
ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ

RUS

- EN
- 中文
- ES

SIMULATION OF ELECTRON MOVING IN RF CAPACITIVELY COUPLED DISCHARGE

Форма представления

Статьи в зарубежных журналах и сборниках

Год публикации

2018

Язык

английский

Авторы, сотрудники КФУ

Асхатов Радик Мухаметгалеевич, автор

Бадриев Ильдар Бурханович, автор

Чебакова Виолетта Юрьевна, автор

Библиографическое описание на языке оригинала

Askhatov R.M, Badriev I.B, Chebakova V.Yu, Zheltukhin V.S. Simulation of electron moving in RF capacitively coupled discharge//Journal of Physics: Conference Series. - 2018. - Vol.1058, Is.1. - Art. № 012044.

Ключевые слова

Simulation

Название журнала

Journal of Physics: Conference Series

URL

https://www.scopus.com/inward/record.uri?eid=2-s2.0-85051859166&doi=10.1088%2f1742-6596%2f1058%2f1%2f012044&partnerID=40&md5=e60751291c079c3466a4eceebd1e03a8

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку

https://repository.kpfu.ru/?p_id=185662

Полная запись метаданных

Поле DC	Значение	Язык
dc.contributor.author	Асхатов Радик Мухаметгалеевич	ru_RU
dc.contributor.author	Бадриев Ильдар Бурханович	ru_RU
dc.contributor.author	Чебакова Виолетта Юрьевна	ru_RU
dc.date.accessioned	2018-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2018-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2018	ru_RU
dc.identifier.citation	Askhatov R.M, Badriev I.B, Chebakova V.Yu, Zheltukhin V.S. Simulation of electron moving in RF capacitively coupled discharge//Journal of Physics: Conference Series. - 2018. - Vol.1058, Is.1. - Art. № 012044.	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/?p_id=185662	ru_RU
dc.description.abstract	Journal of Physics: Conference Series	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject		ru_RU
dc.title	Simulation of electron moving in RF capacitively coupled discharge	ru_RU
dc.type	Статьи в зарубежных журналах и сборниках	ru_RU