| Форма представления | Статьи в зарубежных журналах и сборниках |
| Год публикации | 2018 |
| Язык | английский |
|
Асхатов Радик Мухаметгалеевич, автор
Бадриев Ильдар Бурханович, автор
Желтухин Виктор Семенович, автор
Чебакова Виолетта Юрьевна, автор
|
| Библиографическое описание на языке оригинала |
Askhatov R.M, Badriev I.B, Chebakova V.Yu, Zheltukhin V.S. Simulation of electron moving in RF capacitively coupled discharge//Journal of Physics: Conference Series. - 2018. - Vol.1058, Is.1. - Art. № 012044. |
| Ключевые слова |
Simulation |
| Название журнала |
Journal of Physics: Conference Series
|
| URL |
https://www.scopus.com/inward/record.uri?eid=2-s2.0-85051859166&doi=10.1088%2f1742-6596%2f1058%2f1%2f012044&partnerID=40&md5=e60751291c079c3466a4eceebd1e03a8 |
| Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку |
https://repository.kpfu.ru/?p_id=185662 |
Полная запись метаданных  |
| Поле DC |
Значение |
Язык |
| dc.contributor.author |
Асхатов Радик Мухаметгалеевич |
ru_RU |
| dc.contributor.author |
Бадриев Ильдар Бурханович |
ru_RU |
| dc.contributor.author |
Желтухин Виктор Семенович |
ru_RU |
| dc.contributor.author |
Чебакова Виолетта Юрьевна |
ru_RU |
| dc.date.accessioned |
2018-01-01T00:00:00Z |
ru_RU |
| dc.date.available |
2018-01-01T00:00:00Z |
ru_RU |
| dc.date.issued |
2018 |
ru_RU |
| dc.identifier.citation |
Askhatov R.M, Badriev I.B, Chebakova V.Yu, Zheltukhin V.S. Simulation of electron moving in RF capacitively coupled discharge//Journal of Physics: Conference Series. - 2018. - Vol.1058, Is.1. - Art. № 012044. |
ru_RU |
| dc.identifier.uri |
https://repository.kpfu.ru/?p_id=185662 |
ru_RU |
| dc.description.abstract |
Journal of Physics: Conference Series |
ru_RU |
| dc.language.iso |
ru |
ru_RU |
| dc.subject |
|
ru_RU |
| dc.title |
Simulation of electron moving in RF capacitively coupled discharge |
ru_RU |
| dc.type |
Статьи в зарубежных журналах и сборниках |
ru_RU |
|
EN 
中文 
ES 
Карта сайта
