КФУ. Карточка публикации. Распыление кремния при низкоэнергетической имплантации ионами серебра

КАЗАНСКИЙ
ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ

RUS

- EN
- 中文
- ES

РАСПЫЛЕНИЕ КРЕМНИЯ ПРИ НИЗКОЭНЕРГЕТИЧЕСКОЙ ИМПЛАНТАЦИИ ИОНАМИ СЕРЕБРА

Форма представления

Тезисы и материалы конференций в российских журналах и сборниках

Год публикации

2018

Язык

русский

Авторы, сотрудники КФУ

Воробьев Вячеслав Валерьевич, автор

Осин Юрий Николаевич, автор

Рогов Алексей Михайлович, автор

Степанов Андрей Львович, автор

Другие авторы

Валеев В Ф, автор

Нуждин В И, автор

Авторы, аспиранты КФУ

Воробьев Вячеслав Валерьевич, автор

Библиографическое описание на языке оригинала

Воробьев В.В., Рогов А.М., Осин Ю.Н., Нуждин В.И., Валеев В.Ф., Степанов А.Л., Распыление кремния при низкоэнергетической имплантации ионами серебра // Сборник тезисов III международной школы-конференции студентов, аспирантов и молодых ученых «Материалы и технологии XXI века», – Казань, 29-31 октября 2018, С. 217.

Аннотация

Сборник тезисов III международной школы-конференции студентов, аспирантов и молодых ученых ?Материалы и технологии XXI века?

Ключевые слова

ионное распыление, толщина, наночастицы

Название журнала

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку

https://repository.kpfu.ru/?p_id=187552

Файлы ресурса

Название файла	Размер (Мб)	Формат
Book_of_abstracts_MT21_2018.pdf	5,89	pdf	посмотреть / скачать

Полная запись метаданных

Поле DC	Значение	Язык
dc.contributor.author	Воробьев Вячеслав Валерьевич	ru_RU
dc.contributor.author	Осин Юрий Николаевич	ru_RU
dc.contributor.author	Рогов Алексей Михайлович	ru_RU
dc.contributor.author	Степанов Андрей Львович	ru_RU
dc.contributor.author	Валеев В Ф	ru_RU
dc.contributor.author	Нуждин В И	ru_RU
dc.contributor.author	Воробьев Вячеслав Валерьевич	ru_RU
dc.date.accessioned	2018-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2018-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2018	ru_RU
dc.identifier.citation	Воробьев В.В., Рогов А.М., Осин Ю.Н., Нуждин В.И., Валеев В.Ф., Степанов А.Л., Распыление кремния при низкоэнергетической имплантации ионами серебра // Сборник тезисов III международной школы-конференции студентов, аспирантов и молодых ученых «Материалы и технологии XXI века», – Казань, 29-31 октября 2018, С. 217.	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/?p_id=187552	ru_RU
dc.description.abstract	Сборник тезисов III международной школы-конференции студентов, аспирантов и молодых ученых ?Материалы и технологии XXI века?	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject	ионное распыление	ru_RU
dc.subject	толщина	ru_RU
dc.subject	наночастицы	ru_RU
dc.title	Распыление кремния при низкоэнергетической имплантации ионами серебра	ru_RU
dc.type	Тезисы и материалы конференций в российских журналах и сборниках	ru_RU