КФУ. Карточка публикации. Study of silicon surface implanted by silver ions

КАЗАНСКИЙ
ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ

RUS

- EN
- 中文
- ES

STUDY OF SILICON SURFACE IMPLANTED BY SILVER IONS

Форма представления

Статьи в зарубежных журналах и сборниках

Год публикации

2018

Язык

английский

Авторы, сотрудники КФУ

Воробьев Вячеслав Валерьевич, автор

Осин Юрий Николаевич, автор

Рогов Алексей Михайлович, автор

Степанов Андрей Львович, автор

Другие авторы

Nuzhdin V I, автор

Valeev V F, автор

Авторы, аспиранты КФУ

Воробьев Вячеслав Валерьевич, автор

Библиографическое описание на языке оригинала

Stepanov A.L., Nuzhdin V.I., Valeev V.F., Vorobev V.V., Rogov A.M., Osin Y.N., Study of silicon surface implanted by silver ions // Vacuum, 2019, 159, pp. 353–357.

Аннотация

Vacuum

Ключевые слова

silicon, implantation, silver ions

Название журнала

Vacuum

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку

https://repository.kpfu.ru/?p_id=187558

Файлы ресурса

Название файла	Размер (Мб)	Формат
Step_2018_Vacuum_Ag_PSi.pdf	6,71	pdf	посмотреть / скачать

Полная запись метаданных

Поле DC	Значение	Язык
dc.contributor.author	Воробьев Вячеслав Валерьевич	ru_RU
dc.contributor.author	Осин Юрий Николаевич	ru_RU
dc.contributor.author	Рогов Алексей Михайлович	ru_RU
dc.contributor.author	Степанов Андрей Львович	ru_RU
dc.contributor.author	Nuzhdin V I	ru_RU
dc.contributor.author	Valeev V F	ru_RU
dc.contributor.author	Воробьев Вячеслав Валерьевич	ru_RU
dc.date.accessioned	2018-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2018-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2018	ru_RU
dc.identifier.citation	Stepanov A.L., Nuzhdin V.I., Valeev V.F., Vorobev V.V., Rogov A.M., Osin Y.N., Study of silicon surface implanted by silver ions // Vacuum, 2019, 159, pp. 353–357.	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/?p_id=187558	ru_RU
dc.description.abstract	Vacuum	ru_RU
dc.description.abstract	Vacuum	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject	silicon	ru_RU
dc.subject	implantation	ru_RU
dc.subject	silver ions	ru_RU
dc.title	Study of silicon surface implanted by silver ions	ru_RU
dc.type	Статьи в зарубежных журналах и сборниках	ru_RU