КФУ. Карточка публикации. Modification of the Scharfetter Gummel Method for Calculating the Flux of Charged Particles for Simulation of a Radio-Frequency Capacitive Coupled Discharge

RUS

- EN
- 中文
- ES

MODIFICATION OF THE SCHARFETTER GUMMEL METHOD FOR CALCULATING THE FLUX OF CHARGED PARTICLES FOR SIMULATION OF A RADIO-FREQUENCY CAPACITIVE COUPLED DISCHARGE

Форма представления

Статьи в зарубежных журналах и сборниках

Год публикации

2017

Язык

английский

Авторы, сотрудники КФУ

Чебакова Виолетта Юрьевна, автор

Библиографическое описание на языке оригинала

Zheltukhin V. S., Fadeeva M. S., Chebakova V. Ju., Modification of the Scharfetter Gummel Method for Calculating the Flux of Charged Particles for Simulation of a Radio-Frequency Capacitive Coupled Discharge//UCHENYE ZAPISKI KAZANSKOGO UNIVERSITETA-SERIYA FIZIKO-MATEMATICHESKIE NAUKI. - 2017. - Vol.159, Is.4. - P.444-457.

Ключевые слова

математическое моделирование

Название журнала

UCHENYE ZAPISKI KAZANSKOGO UNIVERSITETA-SERIYA FIZIKO-MATEMATICHESKIE NAUKI

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку

https://repository.kpfu.ru/?p_id=189970

Полная запись метаданных

Поле DC	Значение	Язык
dc.contributor.author	Чебакова Виолетта Юрьевна	ru_RU
dc.date.accessioned	2017-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2017-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2017	ru_RU
dc.identifier.citation	Zheltukhin V. S., Fadeeva M. S., Chebakova V. Ju., Modification of the Scharfetter Gummel Method for Calculating the Flux of Charged Particles for Simulation of a Radio-Frequency Capacitive Coupled Discharge//UCHENYE ZAPISKI KAZANSKOGO UNIVERSITETA-SERIYA FIZIKO-MATEMATICHESKIE NAUKI. - 2017. - Vol.159, Is.4. - P.444-457.	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/?p_id=189970	ru_RU
dc.description.abstract	UCHENYE ZAPISKI KAZANSKOGO UNIVERSITETA-SERIYA FIZIKO-MATEMATICHESKIE NAUKI	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject		ru_RU
dc.title	Modification of the Scharfetter Gummel Method for Calculating the Flux of Charged Particles for Simulation of a Radio-Frequency Capacitive Coupled Discharge	ru_RU
dc.type	Статьи в зарубежных журналах и сборниках	ru_RU