| Форма представления | Статьи в зарубежных журналах и сборниках |
| Год публикации | 2019 |
| Язык | английский |
|
Шемахин Александр Юрьевич, автор
|
| Библиографическое описание на языке оригинала |
Shemakhin A.Y, Zheltukhin V.S., Mathematical modelling of RF plasma flow at low pressures with 3D electromagnetic field//Advances in Materials Science and Engineering. - 2019. - Vol.2019, Is.. - Art. № 7120217. |
| Ключевые слова |
rf plasma, mathematical modeling, low pressure, electromagnetic field |
| Название журнала |
ADVANCES IN MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING
|
| URL |
https://www.scopus.com/inward/record.uri?eid=2-s2.0-85060819884&doi=10.1155%2f2019%2f7120217&partnerID=40&md5=6d6dc3b73c1327c4225217497f36c25e |
| Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку |
https://repository.kpfu.ru/?p_id=196714 |
Полная запись метаданных  |
| Поле DC |
Значение |
Язык |
| dc.contributor.author |
Шемахин Александр Юрьевич |
ru_RU |
| dc.date.accessioned |
2019-01-01T00:00:00Z |
ru_RU |
| dc.date.available |
2019-01-01T00:00:00Z |
ru_RU |
| dc.date.issued |
2019 |
ru_RU |
| dc.identifier.citation |
Shemakhin A.Y, Zheltukhin V.S., Mathematical modelling of RF plasma flow at low pressures with 3D electromagnetic field//Advances in Materials Science and Engineering. - 2019. - Vol.2019, Is.. - Art. № 7120217. |
ru_RU |
| dc.identifier.uri |
https://repository.kpfu.ru/?p_id=196714 |
ru_RU |
| dc.description.abstract |
ADVANCES IN MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING |
ru_RU |
| dc.language.iso |
ru |
ru_RU |
| dc.subject |
rf plasma |
ru_RU |
| dc.subject |
mathematical modeling |
ru_RU |
| dc.subject |
low pressure |
ru_RU |
| dc.subject |
electromagnetic field |
ru_RU |
| dc.title |
Mathematical modelling of RF plasma flow at low pressures with 3D electromagnetic field |
ru_RU |
| dc.type |
Статьи в зарубежных журналах и сборниках |
ru_RU |
|
EN 
中文 
ES 
Карта сайта
