| Форма представления | Статьи в российских журналах и сборниках |
| Год публикации | 2019 |
| Язык | русский |
|
Абдуллин Радис Раисович, автор
Вагизов Фарит Габдулхакович, автор
Гумаров Амир Илдусович, автор
Ибрагимов Шамиль Зарифович, автор
Кузина Диляра Мтыгулловна, автор
Лядов Николай Михайлович, автор
Файзрахманов Ильдар Абдулкабирович, автор
Хайбуллин Рустам Ильдусович, автор
|
|
Шустов Владимир , автор
|
| Библиографическое описание на языке оригинала |
Влияние режимов осаждения на структуру и магнитно-фазовый состав тонких пленок, синтезированных по технологии ионно-стимулированного осаждения / Р.Р. Абдуллин [и др.] // Низкотемпературная плазма в процессе нанесения функциональных покрытий. 2019. - Т. 1, № 10. - С.238-241.
|
| Аннотация |
Тонкие пленки 57Fe (50–300 нм) были синтезированы методом ионно-стимулированного осаждения (ИСО) на подложках из кварцевого стекла (SiO2) и монокристаллического NaCl со скоростью осаждения 3,2, 10 и 20 нм/мин. Методами сканирующей электронной микроскопии, энергодисперсионного элементного микроанализа, рентгеновской дифракции, мессбауэровской спектроскопии и вибрационной магнитометрии было исследовано влияние режимов осаждения пленок 57Fe на их структуру, магнитно-фазовый состав и перпендикулярную магнитную анизотропию (ПМА). Показано, что источником возникновения ПМА в пленках железа является оксидная фаза железа, которая приводит к возникновению микронапряжений. Максимальная величина микронапряжений наблюдается при низкой скорости осаждения (3,2 нм/мин). С увеличением скорости осаждения (до 20 нм/мин) величина микронапряжений и значение ПМА уменьшаются. |
| Ключевые слова |
ионно-стимулированное осаждение, пленки железа, перпендикулярная магнитная анизотропия, мессбауэровская спектроскопия, |
| Название журнала |
Низкотемпературная плазма в процессе нанесения функцио-нальных покрытий
|
| Ссылка для РПД |
http://dspace.kpfu.ru/xmlui/bitstream/handle/net/158236/Vliyanie_rezhimov_osazhdeniya_na_strukturu_.pdf?sequence=1&isAllowed=y
|
| URL |
https://elibrary.ru/title_about.asp?id=50877 |
| Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку |
https://repository.kpfu.ru/?p_id=216084 |
| Файлы ресурса | |
|
|
Полная запись метаданных  |
| Поле DC |
Значение |
Язык |
| dc.contributor.author |
Абдуллин Радис Раисович |
ru_RU |
| dc.contributor.author |
Вагизов Фарит Габдулхакович |
ru_RU |
| dc.contributor.author |
Гумаров Амир Илдусович |
ru_RU |
| dc.contributor.author |
Ибрагимов Шамиль Зарифович |
ru_RU |
| dc.contributor.author |
Кузина Диляра Мтыгулловна |
ru_RU |
| dc.contributor.author |
Лядов Николай Михайлович |
ru_RU |
| dc.contributor.author |
Файзрахманов Ильдар Абдулкабирович |
ru_RU |
| dc.contributor.author |
Хайбуллин Рустам Ильдусович |
ru_RU |
| dc.contributor.author |
Шустов Владимир |
ru_RU |
| dc.date.accessioned |
2019-01-01T00:00:00Z |
ru_RU |
| dc.date.available |
2019-01-01T00:00:00Z |
ru_RU |
| dc.date.issued |
2019 |
ru_RU |
| dc.identifier.citation |
Влияние режимов осаждения на структуру и магнитно-фазовый состав тонких пленок, синтезированных по технологии ионно-стимулированного осаждения / Р.Р. Абдуллин [и др.] // Низкотемпературная плазма в процессе нанесения функциональных покрытий. 2019. - Т. 1, № 10. - С.238-241.
|
ru_RU |
| dc.identifier.uri |
https://repository.kpfu.ru/?p_id=216084 |
ru_RU |
| dc.description.abstract |
Низкотемпературная плазма в процессе нанесения функцио-нальных покрытий |
ru_RU |
| dc.description.abstract |
Тонкие пленки 57Fe (50–300 нм) были синтезированы методом ионно-стимулированного осаждения (ИСО) на подложках из кварцевого стекла (SiO2) и монокристаллического NaCl со скоростью осаждения 3,2, 10 и 20 нм/мин. Методами сканирующей электронной микроскопии, энергодисперсионного элементного микроанализа, рентгеновской дифракции, мессбауэровской спектроскопии и вибрационной магнитометрии было исследовано влияние режимов осаждения пленок 57Fe на их структуру, магнитно-фазовый состав и перпендикулярную магнитную анизотропию (ПМА). Показано, что источником возникновения ПМА в пленках железа является оксидная фаза железа, которая приводит к возникновению микронапряжений. Максимальная величина микронапряжений наблюдается при низкой скорости осаждения (3,2 нм/мин). С увеличением скорости осаждения (до 20 нм/мин) величина микронапряжений и значение ПМА уменьшаются. |
ru_RU |
| dc.language.iso |
ru |
ru_RU |
| dc.subject |
ионно-стимулированное осаждение |
ru_RU |
| dc.subject |
пленки железа |
ru_RU |
| dc.subject |
перпендикулярная магнитная анизотропия |
ru_RU |
| dc.subject |
мессбауэровская спектроскопия |
ru_RU |
| dc.subject |
|
ru_RU |
| dc.title |
Влияние режимов осаждения на структуру и магнитно-фазовый состав тонких пленок, синтезированных по технологии ионно-стимулированного осаждения |
ru_RU |
| dc.type |
Статьи в российских журналах и сборниках |
ru_RU |
|
EN 
中文 
ES 
Карта сайта
