Казанский (Приволжский) федеральный университет, КФУ
КАЗАНСКИЙ
ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ
 
MATHEMATICAL MODELLING OF RF PLASMA FLOW AT LOW PRESSURE WITH METASTABLE AND ELECTRODYNAMICS
Форма представленияСтатьи в зарубежных журналах и сборниках
Год публикации2019
Языканглийский
  • Желтухин Виктор Семенович, автор
  • Шемахин Александр Юрьевич, автор
  • Библиографическое описание на языке оригинала Zheltukhin V.S, Shemakhin A.Y., Mathematical modelling of RF plasma flow at low pressure with metastable and electrodynamics//Journal of Physics: Conference Series. - 2019. - Vol.1158, Is.4. - Art. № 042044.
    Ключевые слова RF plasma, low pressure, mathematical modelling
    Название журнала Journal of Physics: Conference Series
    URL https://www.scopus.com/inward/record.uri?eid=2-s2.0-85063788752&doi=10.1088%2f1742-6596%2f1158%2f4%2f042044&partnerID=40&md5=4d0642c0fa5dc0f80e8d460c6b58164f
    Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку https://repository.kpfu.ru/?p_id=217357

    Полная запись метаданных