| Форма представления | Статьи в российских журналах и сборниках |
| Год публикации | 2020 |
| Язык | русский |
|
Воробьев Вячеслав Валерьевич, автор
Гумаров Амир Илдусович, автор
Рогов Алексей Михайлович, автор
Тагиров Ленар Рафгатович, автор
|
|
Степанов Андрей Львович, автор
|
| Библиографическое описание на языке оригинала |
Воробьев В.В. Исследование морфологии поверхности и химического состава кремния, имплантированного ионами меди / В.В. Воробьев, А.И. Гумаров, Л.Р. Тагиров, А.М. Рогов, В.И. Нуждин, А.Л. Степанов // ЖТФ. - 2020. - Т.90, №.10. - С. 1715-1723. |
| Аннотация |
Представлены результаты исследований структуры и химического состава поверхности монокристаллических подложек кремния c-Si, имплантированных ионами Cu+ с энергией 40 keV и дозами в диапазоне 3.1 ? 1015−1.25 ? 1017 ions/cm2
при плотности тока в ионном пучке 8 ?A/cm2. Методами сканирующей электронной и зондовой микроскопии в сочетании с рентгеновской фотоэлектронной и ожеэлектронной спектроскопии установлено, что на начальной стадии облучения ионами Cu+ до величины дозы 6.25 ? 1016 ions/cm2, в приповерхностном слое Si формируются металлические наночастицы Cu со средним размером 10 nm. При дальнейшем росте дозы имплантации, начиная со значения 1.25 ? 1017 ions/cm2
и выше, происходит зарождение η-фазы силицида меди — η-Cu3Si. Данное обстоятельство обусловлено разогревом приповерхностного слоя подложки Si во время ее облучения до температуры, способствующей фазообразованию η-Cu3Si. |
| Ключевые слова |
высокодозовая ионная имплантация, наночастицы меди, силицид меди |
| Название журнала |
Журнал технической физики
|
| URL |
http://journals.ioffe.ru/articles/49804 |
| Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку |
https://repository.kpfu.ru/?p_id=234196 |
Полная запись метаданных  |
| Поле DC |
Значение |
Язык |
| dc.contributor.author |
Воробьев Вячеслав Валерьевич |
ru_RU |
| dc.contributor.author |
Гумаров Амир Илдусович |
ru_RU |
| dc.contributor.author |
Рогов Алексей Михайлович |
ru_RU |
| dc.contributor.author |
Тагиров Ленар Рафгатович |
ru_RU |
| dc.contributor.author |
Степанов Андрей Львович |
ru_RU |
| dc.date.accessioned |
2020-01-01T00:00:00Z |
ru_RU |
| dc.date.available |
2020-01-01T00:00:00Z |
ru_RU |
| dc.date.issued |
2020 |
ru_RU |
| dc.identifier.citation |
Воробьев В.В. Исследование морфологии поверхности и химического состава кремния, имплантированного ионами меди / В.В. Воробьев, А.И. Гумаров, Л.Р. Тагиров, А.М. Рогов, В.И. Нуждин, А.Л. Степанов // ЖТФ. - 2020. - Т.90, №.10. - С. 1715-1723. |
ru_RU |
| dc.identifier.uri |
https://repository.kpfu.ru/?p_id=234196 |
ru_RU |
| dc.description.abstract |
Журнал технической физики |
ru_RU |
| dc.description.abstract |
Представлены результаты исследований структуры и химического состава поверхности монокристаллических подложек кремния c-Si, имплантированных ионами Cu+ с энергией 40 keV и дозами в диапазоне 3.1 ? 1015−1.25 ? 1017 ions/cm2
при плотности тока в ионном пучке 8 ?A/cm2. Методами сканирующей электронной и зондовой микроскопии в сочетании с рентгеновской фотоэлектронной и ожеэлектронной спектроскопии установлено, что на начальной стадии облучения ионами Cu+ до величины дозы 6.25 ? 1016 ions/cm2, в приповерхностном слое Si формируются металлические наночастицы Cu со средним размером 10 nm. При дальнейшем росте дозы имплантации, начиная со значения 1.25 ? 1017 ions/cm2
и выше, происходит зарождение η-фазы силицида меди — η-Cu3Si. Данное обстоятельство обусловлено разогревом приповерхностного слоя подложки Si во время ее облучения до температуры, способствующей фазообразованию η-Cu3Si. |
ru_RU |
| dc.language.iso |
ru |
ru_RU |
| dc.subject |
высокодозовая ионная имплантация |
ru_RU |
| dc.subject |
наночастицы меди |
ru_RU |
| dc.subject |
силицид меди |
ru_RU |
| dc.title |
Исследование морфологии поверхности и химического состава кремния, имплантированного ионами меди |
ru_RU |
| dc.type |
Статьи в российских журналах и сборниках |
ru_RU |
|
EN 
中文 
ES 
Карта сайта
