КФУ. Карточка публикации. Mathematical modeling of radio-frequency plasma flow at low pressures in nonlocal approximation

КАЗАНСКИЙ
ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ

RUS

- EN
- 中文
- ES

MATHEMATICAL MODELING OF RADIO-FREQUENCY PLASMA FLOW AT LOW PRESSURES IN NONLOCAL APPROXIMATION

Форма представления

Тезисы и материалы конференций в российских журналах и сборниках

Год публикации

2020

Язык

английский

Авторы, сотрудники КФУ

Желтухин Виктор Семенович, автор

Шемахин Александр Юрьевич, автор

Библиографическое описание на языке оригинала

Shemakhin A. Yu. , Zheltukhin V. S. Mathematical modeling of radio-frequency plasma flow at low pressures in nonlocal approximation// Сборник тезисов XXXV Международной конференции «Уравнения состояния вещества«, 2020, С. 250.

Аннотация

Сборник тезисов XXXV Международной конференции «Уравнения состояния вещества«

Ключевые слова

RF plasma, mathematical modelling, low pressures

Название журнала

Сборник тезисов XXXV Международной конференции «Уравнения состояния вещества«

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку

https://repository.kpfu.ru/?p_id=234714

Полная запись метаданных

Поле DC	Значение	Язык
dc.contributor.author	Желтухин Виктор Семенович	ru_RU
dc.contributor.author	Шемахин Александр Юрьевич	ru_RU
dc.date.accessioned	2020-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2020-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2020	ru_RU
dc.identifier.citation	Shemakhin A. Yu. , Zheltukhin V. S. Mathematical modeling of radio-frequency plasma flow at low pressures in nonlocal approximation// Сборник тезисов XXXV Международной конференции «Уравнения состояния вещества«, 2020, С. 250.	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/?p_id=234714	ru_RU
dc.description.abstract	Сборник тезисов XXXV Международной конференции «Уравнения состояния вещества«	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject	RF plasma	ru_RU
dc.subject	mathematical modelling	ru_RU
dc.subject	low pressures	ru_RU
dc.title	Mathematical modeling of radio-frequency plasma flow at low pressures in nonlocal approximation	ru_RU
dc.type	Тезисы и материалы конференций в российских журналах и сборниках	ru_RU