Казанский (Приволжский) федеральный университет, КФУ
КАЗАНСКИЙ
ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ
 
FORMATION OF POROUS GERMANIUM LAYERS WITH VARIOUS SURFACE MORPHOLOGY IN DEPENDENCE ON MASS OF IMPLANTED IONS
Форма представленияСтатьи в зарубежных журналах и сборниках
Год публикации2020
Языканглийский
  • Рогов Алексей Михайлович, автор
  • Библиографическое описание на языке оригинала Rogov A.M, Nuzhdin V.I, Valeev V.F, Formation of porous germanium layers with various surface morphology in dependence on mass of implanted ions//Composites Communications. - 2020. - Vol.19, Is.. - P.6-10.
    Ключевые слова semiconductors, microscopy, ion implantation
    Название журнала Composites Communications
    URL https://www.scopus.com/inward/record.uri?eid=2-s2.0-85079378546&doi=10.1016%2fj.coco.2020.01.002&partnerID=40&md5=555380700e506232d4035bc6295352b4
    Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку https://repository.kpfu.ru/?p_id=236950

    Полная запись метаданных