КФУ. Карточка публикации. Diffraction grating on chalcogenide glass (GeSe5)80B20 fabricated by mask ion implantation

КАЗАНСКИЙ
ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ

RUS

- EN
- 中文
- ES

DIFFRACTION GRATING ON CHALCOGENIDE GLASS (GESE5)80B20 FABRICATED BY MASK ION IMPLANTATION

Форма представления

Статьи в зарубежных журналах и сборниках

Год публикации

2020

Язык

английский

Авторы, сотрудники КФУ

Рогов Алексей Михайлович, автор

Библиографическое описание на языке оригинала

Stepanov A.L, Rogov A.M, Nuzhdin V.I, Diffraction grating on chalcogenide glass (GeSe5)80B20 fabricated by mask ion implantation//Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms. - 2020. - Vol.462, Is.. - P.187-190.

Ключевые слова

ion implantation, semiconductors, microscopy

Название журнала

Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms

URL

https://www.scopus.com/inward/record.uri?eid=2-s2.0-85075628863&doi=10.1016%2fj.nimb.2019.09.027&partnerID=40&md5=563b6376acd1cb5633f001e3c9444fd0

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку

https://repository.kpfu.ru/?p_id=236952

Полная запись метаданных

Поле DC	Значение	Язык
dc.contributor.author	Рогов Алексей Михайлович	ru_RU
dc.date.accessioned	2020-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2020-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2020	ru_RU
dc.identifier.citation	Stepanov A.L, Rogov A.M, Nuzhdin V.I, Diffraction grating on chalcogenide glass (GeSe5)80B20 fabricated by mask ion implantation//Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms. - 2020. - Vol.462, Is.. - P.187-190.	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/?p_id=236952	ru_RU
dc.description.abstract	Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject	ion implantation	ru_RU
dc.subject	semiconductors	ru_RU
dc.subject	microscopy	ru_RU
dc.title	Diffraction grating on chalcogenide glass (GeSe5)80B20 fabricated by mask ion implantation	ru_RU
dc.type	Статьи в зарубежных журналах и сборниках	ru_RU