Форма представления | Статьи в зарубежных журналах и сборниках |
Год публикации | 2020 |
Язык | английский |
|
Желтухин Виктор Семенович, автор
Шемахин Александр Юрьевич, автор
|
Библиографическое описание на языке оригинала |
Shemakhin A.Yu, Zheltukhin V.S, Shemakhin E.Yu, Experimental installation to study the RF plasma flow at low pressures with experiment data synchronization//Journal of Physics: Conference Series. - 2020. - Vol.1588, Is.1. - Art. № 012018. |
Ключевые слова |
RF plasma, low pressure, plasma flow |
Название журнала |
Journal of Physics: Conference Series
|
URL |
https://www.scopus.com/inward/record.uri?eid=2-s2.0-85090792814&doi=10.1088%2f1742-6596%2f1588%2f1%2f012018&partnerID=40&md5=e2e3cc200167bfecf428d1f4ebeaf97c |
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку |
https://repository.kpfu.ru/?p_id=238996 |
Полная запись метаданных |
Поле DC |
Значение |
Язык |
dc.contributor.author |
Желтухин Виктор Семенович |
ru_RU |
dc.contributor.author |
Шемахин Александр Юрьевич |
ru_RU |
dc.date.accessioned |
2020-01-01T00:00:00Z |
ru_RU |
dc.date.available |
2020-01-01T00:00:00Z |
ru_RU |
dc.date.issued |
2020 |
ru_RU |
dc.identifier.citation |
Shemakhin A.Yu, Zheltukhin V.S, Shemakhin E.Yu, Experimental installation to study the RF plasma flow at low pressures with experiment data synchronization//Journal of Physics: Conference Series. - 2020. - Vol.1588, Is.1. - Art. № 012018. |
ru_RU |
dc.identifier.uri |
https://repository.kpfu.ru/?p_id=238996 |
ru_RU |
dc.description.abstract |
Journal of Physics: Conference Series |
ru_RU |
dc.language.iso |
ru |
ru_RU |
dc.subject |
RF plasma |
ru_RU |
dc.subject |
low pressure |
ru_RU |
dc.subject |
plasma flow |
ru_RU |
dc.title |
Experimental installation to study the RF plasma flow at low pressures with experiment data synchronization |
ru_RU |
dc.type |
Статьи в зарубежных журналах и сборниках |
ru_RU |
|