Казанский (Приволжский) федеральный университет, КФУ
КАЗАНСКИЙ
ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ
 
EXPERIMENTAL INSTALLATION TO STUDY THE RF PLASMA FLOW AT LOW PRESSURES WITH EXPERIMENT DATA SYNCHRONIZATION
Форма представленияСтатьи в зарубежных журналах и сборниках
Год публикации2020
Языканглийский
  • Желтухин Виктор Семенович, автор
  • Шемахин Александр Юрьевич, автор
  • Библиографическое описание на языке оригинала Shemakhin A.Yu, Zheltukhin V.S, Shemakhin E.Yu, Experimental installation to study the RF plasma flow at low pressures with experiment data synchronization//Journal of Physics: Conference Series. - 2020. - Vol.1588, Is.1. - Art. № 012018.
    Ключевые слова RF plasma, low pressure, plasma flow
    Название журнала Journal of Physics: Conference Series
    URL https://www.scopus.com/inward/record.uri?eid=2-s2.0-85090792814&doi=10.1088%2f1742-6596%2f1588%2f1%2f012018&partnerID=40&md5=e2e3cc200167bfecf428d1f4ebeaf97c
    Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку https://repository.kpfu.ru/?p_id=238996

    Полная запись метаданных