КФУ. Карточка публикации. ИССЛЕДОВАНИЕ МОРФОЛОГИИ ПОВЕРХНОСТИ И ХИМИЧЕСКОГО СОСТАВА КРЕМНИЯ, ИМПЛАНТИРОВАННОГО ИОНАМИ МЕДИ

КАЗАНСКИЙ
ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ

RUS

- EN
- 中文
- ES

ИССЛЕДОВАНИЕ МОРФОЛОГИИ ПОВЕРХНОСТИ И ХИМИЧЕСКОГО СОСТАВА КРЕМНИЯ, ИМПЛАНТИРОВАННОГО ИОНАМИ МЕДИ

Форма представления

Статьи в российских журналах и сборниках

Год публикации

2020

Язык

русский

Авторы, сотрудники КФУ

Рогов Алексей Михайлович, автор

Тагиров Ленар Рафгатович, автор

Библиографическое описание на языке оригинала

Воробьев В.В. ИССЛЕДОВАНИЕ МОРФОЛОГИИ ПОВЕРХНОСТИ И ХИМИЧЕСКОГО СОСТАВА КРЕМНИЯ, ИМПЛАНТИРОВАННОГО ИОНАМИ МЕДИ / В.В. Воробьев, А.И. Гумаров, Л.Р. Тагиров, А.М. Рогов // журнал технической физики. - 2020. - №10. -С. 1715-1723

Аннотация

Журнал технической физики

Ключевые слова

HIGH-DOSE ION IMPLANTATION, COPPER NANOPARTICLES, COPPER SILICIDE

Название журнала

Журнал технической физики

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку

https://repository.kpfu.ru/?p_id=242477

Полная запись метаданных

Поле DC	Значение	Язык
dc.contributor.author	Рогов Алексей Михайлович	ru_RU
dc.contributor.author	Тагиров Ленар Рафгатович	ru_RU
dc.date.accessioned	2020-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2020-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2020	ru_RU
dc.identifier.citation	Воробьев В.В. ИССЛЕДОВАНИЕ МОРФОЛОГИИ ПОВЕРХНОСТИ И ХИМИЧЕСКОГО СОСТАВА КРЕМНИЯ, ИМПЛАНТИРОВАННОГО ИОНАМИ МЕДИ / В.В. Воробьев, А.И. Гумаров, Л.Р. Тагиров, А.М. Рогов // журнал технической физики. - 2020. - №10. -С. 1715-1723	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/?p_id=242477	ru_RU
dc.description.abstract	Журнал технической физики	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject	HIGH-DOSE ION IMPLANTATION	ru_RU
dc.subject	COPPER NANOPARTICLES	ru_RU
dc.subject	COPPER SILICIDE	ru_RU
dc.title	ИССЛЕДОВАНИЕ МОРФОЛОГИИ ПОВЕРХНОСТИ И ХИМИЧЕСКОГО СОСТАВА КРЕМНИЯ, ИМПЛАНТИРОВАННОГО ИОНАМИ МЕДИ	ru_RU
dc.type	Статьи в российских журналах и сборниках	ru_RU