| Форма представления | Статьи в зарубежных журналах и сборниках |
| Год публикации | 2021 |
| Язык | английский |
|
Рогов Алексей Михайлович, автор
|
| Библиографическое описание на языке оригинала |
Stepanov A.L, Farrakhov B.F, Fattakhov Y.V, Incoherent-light pulse annealing of nanoporous germanium layers formed by ion implantation//Vacuum. - 2021. - Vol.186, Is.. - Art. № 110060. |
| Ключевые слова |
annealing, semiconductors, implantation |
| Название журнала |
Vacuum
|
| URL |
https://www.scopus.com/inward/record.uri?eid=2-s2.0-85099635481&doi=10.1016%2fj.vacuum.2021.110060&partnerID=40&md5=64fb655642977fa64d26728b803ceec8 |
| Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку |
https://repository.kpfu.ru/?p_id=249264 |
Полная запись метаданных  |
| Поле DC |
Значение |
Язык |
| dc.contributor.author |
Рогов Алексей Михайлович |
ru_RU |
| dc.date.accessioned |
2021-01-01T00:00:00Z |
ru_RU |
| dc.date.available |
2021-01-01T00:00:00Z |
ru_RU |
| dc.date.issued |
2021 |
ru_RU |
| dc.identifier.citation |
Stepanov A.L, Farrakhov B.F, Fattakhov Y.V, Incoherent-light pulse annealing of nanoporous germanium layers formed by ion implantation//Vacuum. - 2021. - Vol.186, Is.. - Art. № 110060. |
ru_RU |
| dc.identifier.uri |
https://repository.kpfu.ru/?p_id=249264 |
ru_RU |
| dc.description.abstract |
Vacuum |
ru_RU |
| dc.language.iso |
ru |
ru_RU |
| dc.subject |
annealing |
ru_RU |
| dc.subject |
semiconductors |
ru_RU |
| dc.subject |
implantation |
ru_RU |
| dc.title |
Incoherent-light pulse annealing of nanoporous germanium layers formed by ion implantation |
ru_RU |
| dc.type |
Статьи в зарубежных журналах и сборниках |
ru_RU |
|
EN 
中文 
ES 
Карта сайта
