| Форма представления | Тезисы и материалы конференций в российских журналах и сборниках |
| Год публикации | 2021 |
| Язык | английский |
|
Шемахин Александр Юрьевич, автор
|
| Библиографическое описание на языке оригинала |
Shemakhin Aleksandr. Mathematical modeling of rf plasma flow at low pressures in
vacuum chamber with charged body // Proceedings & programme of the International workshop IWCI-2021 - C. 68 |
| Аннотация |
Proceedings & programme of the International workshop IWCI-2021 |
| Ключевые слова |
RF plasma, charged body, mathematical modelling, low pressure |
| Название журнала |
Proceedings & programme of the International workshop IWCI-2021
|
| Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку |
https://repository.kpfu.ru/?p_id=251405 |
Полная запись метаданных  |
| Поле DC |
Значение |
Язык |
| dc.contributor.author |
Шемахин Александр Юрьевич |
ru_RU |
| dc.date.accessioned |
2021-01-01T00:00:00Z |
ru_RU |
| dc.date.available |
2021-01-01T00:00:00Z |
ru_RU |
| dc.date.issued |
2021 |
ru_RU |
| dc.identifier.citation |
Shemakhin Aleksandr. Mathematical modeling of rf plasma flow at low pressures in
vacuum chamber with charged body // Proceedings & programme of the International workshop IWCI-2021 - C. 68 |
ru_RU |
| dc.identifier.uri |
https://repository.kpfu.ru/?p_id=251405 |
ru_RU |
| dc.description.abstract |
Proceedings & programme of the International workshop IWCI-2021 |
ru_RU |
| dc.language.iso |
ru |
ru_RU |
| dc.subject |
RF plasma |
ru_RU |
| dc.subject |
charged body |
ru_RU |
| dc.subject |
mathematical modelling |
ru_RU |
| dc.subject |
low pressure |
ru_RU |
| dc.title |
Mathematical modeling of rf plasma flow at low pressures in
vacuum chamber with charged body |
ru_RU |
| dc.type |
Тезисы и материалы конференций в российских журналах и сборниках |
ru_RU |
|
EN 
中文 
ES 
Карта сайта
