КФУ. Карточка публикации. Molecular Dynamics Simulation of Copper Nanofilm Self-Assembly on Silicon Substrate under Gas-Discharge Plasma Conditions

RUS

- EN
- 中文
- ES

MOLECULAR DYNAMICS SIMULATION OF COPPER NANOFILM SELF-ASSEMBLY ON SILICON SUBSTRATE UNDER GAS-DISCHARGE PLASMA CONDITIONS

Форма представления

Статьи в зарубежных журналах и сборниках

Год публикации

2021

Язык

английский

Авторы, сотрудники КФУ

Файрушин Ильназ Изаилович, автор

Шемахин Александр Юрьевич, автор

Библиографическое описание на языке оригинала

Fairushin I.I, Shemakhin A.Y, Khabir?yanova A.A., Molecular Dynamics Simulation of Copper Nanofilm Self-Assembly on Silicon Substrate under Gas-Discharge Plasma Conditions//High Energy Chemistry. - 2021. - Vol.55, Is.5. - P.399-401.

Ключевые слова

gas discharge, molecular dynamics, sputtering, copper nanofilm, self-assembly

Название журнала

HIGH ENERGY CHEMISTRY

URL

https://www.scopus.com/inward/record.uri?eid=2-s2.0-85115357777&doi=10.1134%2fS0018143921050039&partnerID=40&md5=d2ffb8a499711856c9978d981af0e6eb

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку

https://repository.kpfu.ru/?p_id=258428

Полная запись метаданных

Поле DC	Значение	Язык
dc.contributor.author	Файрушин Ильназ Изаилович	ru_RU
dc.contributor.author	Шемахин Александр Юрьевич	ru_RU
dc.date.accessioned	2021-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2021-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2021	ru_RU
dc.identifier.citation	Fairushin I.I, Shemakhin A.Y, Khabir?yanova A.A., Molecular Dynamics Simulation of Copper Nanofilm Self-Assembly on Silicon Substrate under Gas-Discharge Plasma Conditions//High Energy Chemistry. - 2021. - Vol.55, Is.5. - P.399-401.	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/?p_id=258428	ru_RU
dc.description.abstract	HIGH ENERGY CHEMISTRY	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject	gas discharge	ru_RU
dc.subject	molecular dynamics	ru_RU
dc.subject	sputtering	ru_RU
dc.subject	copper nanofilm	ru_RU
dc.subject	self-assembly	ru_RU
dc.title	Molecular Dynamics Simulation of Copper Nanofilm Self-Assembly on Silicon Substrate under Gas-Discharge Plasma Conditions	ru_RU
dc.type	Статьи в зарубежных журналах и сборниках	ru_RU