КФУ. Карточка публикации. Mathematical Simulation of a High-Frequency Low-Pressure Discharge with Gas Injection in Non-Local Approximation: Electro- and Plasmadynamics

RUS

- EN
- 中文
- ES

MATHEMATICAL SIMULATION OF A HIGH-FREQUENCY LOW-PRESSURE DISCHARGE WITH GAS INJECTION IN NON-LOCAL APPROXIMATION: ELECTRO- AND PLASMADYNAMICS

Форма представления

Статьи в зарубежных журналах и сборниках

Год публикации

2021

Язык

английский

Авторы, сотрудники КФУ

Шемахин Александр Юрьевич, автор

Библиографическое описание на языке оригинала

Shemakhin A.Y, Zheltukhin V.S, Shemakhin E.Y., Mathematical Simulation of a High-Frequency Low-Pressure Discharge with Gas Injection in Non-Local Approximation: Electro- and Plasmadynamics//Journal of Engineering Physics and Thermophysics. - 2021. - Vol.94, Is.5. - P.1336-1343.

Ключевые слова

RF plasma, low pressure, mathematical modeling

Название журнала

Journal of Engineering Physics and Thermophysics

URL

https://www.scopus.com/inward/record.uri?eid=2-s2.0-85118218417&doi=10.1007%2fs10891-021-02415-5&partnerID=40&md5=963e59bedf936294d3d5fe993f2c9ab7

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку

https://repository.kpfu.ru/?p_id=259984

Полная запись метаданных

Поле DC	Значение	Язык
dc.contributor.author	Шемахин Александр Юрьевич	ru_RU
dc.date.accessioned	2021-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2021-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2021	ru_RU
dc.identifier.citation	Shemakhin A.Y, Zheltukhin V.S, Shemakhin E.Y., Mathematical Simulation of a High-Frequency Low-Pressure Discharge with Gas Injection in Non-Local Approximation: Electro- and Plasmadynamics//Journal of Engineering Physics and Thermophysics. - 2021. - Vol.94, Is.5. - P.1336-1343.	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/?p_id=259984	ru_RU
dc.description.abstract	Journal of Engineering Physics and Thermophysics	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject	RF plasma	ru_RU
dc.subject	low pressure	ru_RU
dc.subject	mathematical modeling	ru_RU
dc.title	Mathematical Simulation of a High-Frequency Low-Pressure Discharge with Gas Injection in Non-Local Approximation: Electro- and Plasmadynamics	ru_RU
dc.type	Статьи в зарубежных журналах и сборниках	ru_RU