КФУ. Карточка публикации. Mathematical Simulation of a High-Frequency Low-Pressure Discharge with Gas Injection in Non-Local Approximation: Electro- and Plasmadynamics

RUS

- EN
- 中文
- ES

MATHEMATICAL SIMULATION OF A HIGH-FREQUENCY LOW-PRESSURE DISCHARGE WITH GAS INJECTION IN NON-LOCAL APPROXIMATION: ELECTRO- AND PLASMADYNAMICS

Форма представления

Статьи в зарубежных журналах и сборниках

Год публикации

2021

Язык

английский

Авторы, сотрудники КФУ

Желтухин Виктор Семенович, автор

Шемахин Александр Юрьевич, автор

Библиографическое описание на языке оригинала

Shemakhin A.Y, Zheltukhin V.S, Shemakhin E.Y., Mathematical Simulation of a High-Frequency Low-Pressure Discharge with Gas Injection in Non-Local Approximation: Electro- and Plasmadynamics//Journal of Engineering Physics and Thermophysics. - 2021. - Vol.94, Is.5. - P.1336-1343.

Ключевые слова

RF plasma, low pressure, mathematical modeling

Название журнала

Journal of Engineering Physics and Thermophysics

URL

https://www.scopus.com/inward/record.uri?eid=2-s2.0-85118218417&doi=10.1007%2fs10891-021-02415-5&partnerID=40&md5=963e59bedf936294d3d5fe993f2c9ab7

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку

https://repository.kpfu.ru/?p_id=259984

Полная запись метаданных

Поле DC	Значение	Язык
dc.contributor.author	Желтухин Виктор Семенович	ru_RU
dc.contributor.author	Шемахин Александр Юрьевич	ru_RU
dc.date.accessioned	2021-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2021-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2021	ru_RU
dc.identifier.citation	Shemakhin A.Y, Zheltukhin V.S, Shemakhin E.Y., Mathematical Simulation of a High-Frequency Low-Pressure Discharge with Gas Injection in Non-Local Approximation: Electro- and Plasmadynamics//Journal of Engineering Physics and Thermophysics. - 2021. - Vol.94, Is.5. - P.1336-1343.	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/?p_id=259984	ru_RU
dc.description.abstract	Journal of Engineering Physics and Thermophysics	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject	RF plasma	ru_RU
dc.subject	low pressure	ru_RU
dc.subject	mathematical modeling	ru_RU
dc.title	Mathematical Simulation of a High-Frequency Low-Pressure Discharge with Gas Injection in Non-Local Approximation: Electro- and Plasmadynamics	ru_RU
dc.type	Статьи в зарубежных журналах и сборниках	ru_RU