КФУ. Карточка публикации. Математическое моделирование высокочастотной плазмы пониженного давления для цилиндрической вакуумной камеры с заряженным образцом в потоке

RUS

- EN
- 中文
- ES

МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ВЫСОКОЧАСТОТНОЙ ПЛАЗМЫ ПОНИЖЕННОГО ДАВЛЕНИЯ ДЛЯ ЦИЛИНДРИЧЕСКОЙ ВАКУУМНОЙ КАМЕРЫ С ЗАРЯЖЕННЫМ ОБРАЗЦОМ В ПОТОКЕ

Форма представления

Тезисы и материалы конференций в российских журналах и сборниках

Год публикации

2021

Язык

русский

Авторы, сотрудники КФУ

Желтухин Виктор Семенович, автор

Шемахин Александр Юрьевич, автор

Библиографическое описание на языке оригинала

Математическое моделирование высокочастотной плазмы пониженного давления для цилиндрической вакуумной камеры с заряженным образцом в потоке II Международная конференция «Газоразрядная плазма и синтез наноструктур» : сборник трудов, (г. Казань, 1-4 декабря 2021 г.) / под ред. Б. А. Тимеркаева. - Казань : Бук, 2021. - 388 с. (2021 г.) , С.37

Аннотация

Международная конференция «Газоразрядная плазма и синтез наноструктур» : сборник трудов,

Ключевые слова

математическое моделирование, ВЧ-плазма, пониженное давление

Название журнала

Международная конференция «Газоразрядная плазма и синтез наноструктур» : сборник трудов,

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку

https://repository.kpfu.ru/?p_id=260976

Полная запись метаданных

Поле DC	Значение	Язык
dc.contributor.author	Желтухин Виктор Семенович	ru_RU
dc.contributor.author	Шемахин Александр Юрьевич	ru_RU
dc.date.accessioned	2021-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2021-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2021	ru_RU
dc.identifier.citation	Математическое моделирование высокочастотной плазмы пониженного давления для цилиндрической вакуумной камеры с заряженным образцом в потоке II Международная конференция «Газоразрядная плазма и синтез наноструктур» : сборник трудов, (г. Казань, 1-4 декабря 2021 г.) / под ред. Б. А. Тимеркаева. - Казань : Бук, 2021. - 388 с. (2021 г.) , С.37	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/?p_id=260976	ru_RU
dc.description.abstract	Международная конференция «Газоразрядная плазма и синтез наноструктур» : сборник трудов,	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject	математическое моделирование	ru_RU
dc.subject	ВЧ-плазма	ru_RU
dc.subject	пониженное давление	ru_RU
dc.title	Математическое моделирование высокочастотной плазмы пониженного давления для цилиндрической вакуумной камеры с заряженным образцом в потоке	ru_RU
dc.type	Тезисы и материалы конференций в российских журналах и сборниках	ru_RU