| Форма представления | Статьи в российских журналах и сборниках |
| Год публикации | 2021 |
| Язык | русский |
|
Желтухин Виктор Семенович, автор
Шемахин Александр Юрьевич, автор
Шемахин Евгений Юрьевич, автор
|
| Библиографическое описание на языке оригинала |
Шемахин А.Ю., Желтухин В.С., Шемахин Е.Ю. Математическое моделирование ВЧ-плазмы пониженного давления для цилиндрической вакуумной камеры с заряженным образцом // Информационные и математические технологии в науке и управлении. 2021. No 4 (24).
С. 44-49. DOI:10.38028/ESI.2021.24.4.004 |
| Аннотация |
Информационные и математические технологии в науке и управлении |
| Ключевые слова |
ВЧ-плазма, пониженное давление, численное моделирование, уравнение баланса электронов, уравнения Максвелла, концентрация электронов, напряженность электрического поля, математическое моделирование, пониженное давление. |
| Название журнала |
Информационные и математические технологии в науке и управлении
|
| URL |
https://www.imt-journal.ru/archive/public/article?id=212 |
| Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку |
https://repository.kpfu.ru/?p_id=261702 |
Полная запись метаданных  |
| Поле DC |
Значение |
Язык |
| dc.contributor.author |
Желтухин Виктор Семенович |
ru_RU |
| dc.contributor.author |
Шемахин Александр Юрьевич |
ru_RU |
| dc.contributor.author |
Шемахин Евгений Юрьевич |
ru_RU |
| dc.date.accessioned |
2021-01-01T00:00:00Z |
ru_RU |
| dc.date.available |
2021-01-01T00:00:00Z |
ru_RU |
| dc.date.issued |
2021 |
ru_RU |
| dc.identifier.citation |
Шемахин А.Ю., Желтухин В.С., Шемахин Е.Ю. Математическое моделирование ВЧ-плазмы пониженного давления для цилиндрической вакуумной камеры с заряженным образцом // Информационные и математические технологии в науке и управлении. 2021. No 4 (24).
С. 44-49. DOI:10.38028/ESI.2021.24.4.004 |
ru_RU |
| dc.identifier.uri |
https://repository.kpfu.ru/?p_id=261702 |
ru_RU |
| dc.description.abstract |
Информационные и математические технологии в науке и управлении |
ru_RU |
| dc.language.iso |
ru |
ru_RU |
| dc.subject |
ВЧ-плазма |
ru_RU |
| dc.subject |
пониженное давление |
ru_RU |
| dc.subject |
численное моделирование |
ru_RU |
| dc.subject |
уравнение баланса электронов |
ru_RU |
| dc.subject |
уравнения Максвелла |
ru_RU |
| dc.subject |
концентрация электронов |
ru_RU |
| dc.subject |
напряженность электрического поля |
ru_RU |
| dc.subject |
математическое моделирование |
ru_RU |
| dc.subject |
пониженное давление. |
ru_RU |
| dc.title |
Математическое моделирование ВЧ-плазмы пониженного давления для цилиндрической вакуумной камеры с заряженным образцом |
ru_RU |
| dc.type |
Статьи в российских журналах и сборниках |
ru_RU |
|
EN 
中文 
ES 
Карта сайта
