КФУ. Карточка публикации. Модификация нанослоев в высокочастотной плазме пониженного давления

КАЗАНСКИЙ
ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ

RUS

- EN
- 中文
- ES

МОДИФИКАЦИЯ НАНОСЛОЕВ В ВЫСОКОЧАСТОТНОЙ ПЛАЗМЕ ПОНИЖЕННОГО ДАВЛЕНИЯ

Форма представления

Российские монографии

Год публикации

2007

Язык

русский

Авторы, сотрудники КФУ

Желтухин Виктор Семенович, автор

Сагбиев Ильгизар Раффакович, автор

Другие авторы

Абдуллин Ильдар Шаукатович, автор

Шаехов Марс Фаритович, автор

Библиографическое описание на языке оригинала

Абдуллин И.Ш. Модификация нанослоев в высокочастотной плазме пониженного давления: монография [Текст] / И.Ш.Абдуллин, В.С.Желтухин, И.Р.Сагбиев, М.Ф.Шаехов.- Казань: Изд-во Казан. гос. технол. ун-та, 2007.- 356 с. ISBN 978-5-7882-0553-3. Тираж 1000 экз.

Аннотация

Приведены результаты теоретических и экспериментальных исследований влияния высокочастотной плазмы пониженного давления на поверхностные нанослои материалов различной природы

Ключевые слова

Модификация поверхностного нанослоя, высокочастотная плазма пониженного давления

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку

https://repository.kpfu.ru/?p_id=264694

Полная запись метаданных

Поле DC	Значение	Язык
dc.contributor.author	Желтухин Виктор Семенович	ru_RU
dc.contributor.author	Сагбиев Ильгизар Раффакович	ru_RU
dc.contributor.author	Абдуллин Ильдар Шаукатович	ru_RU
dc.contributor.author	Шаехов Марс Фаритович	ru_RU
dc.date.accessioned	2007-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2007-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2007	ru_RU
dc.identifier.citation	Абдуллин И.Ш. Модификация нанослоев в высокочастотной плазме пониженного давления: монография [Текст] / И.Ш.Абдуллин, В.С.Желтухин, И.Р.Сагбиев, М.Ф.Шаехов.- Казань: Изд-во Казан. гос. технол. ун-та, 2007.- 356 с. ISBN 978-5-7882-0553-3. Тираж 1000 экз.	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/?p_id=264694	ru_RU
dc.description.abstract	Приведены результаты теоретических и экспериментальных исследований влияния высокочастотной плазмы пониженного давления на поверхностные нанослои материалов различной природы	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject	Модификация поверхностного нанослоя	ru_RU
dc.subject	высокочастотная плазма пониженного давления	ru_RU
dc.title	Модификация нанослоев в высокочастотной плазме пониженного давления	ru_RU
dc.type	Российские монографии	ru_RU