| Форма представления | Статьи в российских журналах и сборниках |
| Год публикации | 2021 |
| Язык | русский |
|
Аглямов Радик Дависович, автор
Ловчев Александр Владимирович, автор
Морозов Олег Александрович, автор
Наумов Александр Кондратьевич, автор
|
| Библиографическое описание на языке оригинала |
Аглямов Р. .Д. О возможности применения фторидных неодим- активированных кристаллов в качестве светоуправляемого затвора для излучения ArF-лазера (193 nm) / Р.Д. Аглямов, А.К. Наумов, А.В. Ловчев, О.А. Морозов // Оптика и спектроскопия. - 2021. - т.129, - №4 .- С. 521-526. |
| Аннотация |
Сообщено об оптических свойствах кристаллов фторидов KY3F10:Nd3+, Na3Y6F22:Nd3+, SrF2:Nd3+ и
CaF2:Nd3+ в УФ и ВУФ областях спектра. Спектры поглощения из основного (4I9/2) и из возбужденного
(4F3/2) состояний зарегистрированы в диапазоне длин волн от 190 до 240 nm. Спектры поглощения из
возбужденного состояния показывают существенное приращение коэффициентов поглощения исследованных
образцов в области длин волн 193 nm при накачке состояния 4F3/2 ионов Nd3+ ИК излучением. Полученные
результаты демонстрируют возможность применения этих кристаллов в качестве оптических затворов
для УФ и ВУФ диапазона, управляемых внешним лазерным ИК излучением, например для излучения
эксимерного ArF-лазера с длиной волны 193 nm, которое начало применяться в фотолитографии. |
| Ключевые слова |
фторидный кристалл, ионы неодима, ВУФ, УФ, спектр поглощения, поглощение из
возбужденного состояния, оптический затвор, 193 nm, эксимерный ArF-лазер |
| Название журнала |
Оптика и спектроскопия
|
| Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку |
https://repository.kpfu.ru/?p_id=268660 |
Полная запись метаданных  |
| Поле DC |
Значение |
Язык |
| dc.contributor.author |
Аглямов Радик Дависович |
ru_RU |
| dc.contributor.author |
Ловчев Александр Владимирович |
ru_RU |
| dc.contributor.author |
Морозов Олег Александрович |
ru_RU |
| dc.contributor.author |
Наумов Александр Кондратьевич |
ru_RU |
| dc.date.accessioned |
2021-01-01T00:00:00Z |
ru_RU |
| dc.date.available |
2021-01-01T00:00:00Z |
ru_RU |
| dc.date.issued |
2021 |
ru_RU |
| dc.identifier.citation |
Аглямов Р. .Д. О возможности применения фторидных неодим- активированных кристаллов в качестве светоуправляемого затвора для излучения ArF-лазера (193 nm) / Р.Д. Аглямов, А.К. Наумов, А.В. Ловчев, О.А. Морозов // Оптика и спектроскопия. - 2021. - т.129, - №4 .- С. 521-526. |
ru_RU |
| dc.identifier.uri |
https://repository.kpfu.ru/?p_id=268660 |
ru_RU |
| dc.description.abstract |
Оптика и спектроскопия |
ru_RU |
| dc.description.abstract |
Сообщено об оптических свойствах кристаллов фторидов KY3F10:Nd3+, Na3Y6F22:Nd3+, SrF2:Nd3+ и
CaF2:Nd3+ в УФ и ВУФ областях спектра. Спектры поглощения из основного (4I9/2) и из возбужденного
(4F3/2) состояний зарегистрированы в диапазоне длин волн от 190 до 240 nm. Спектры поглощения из
возбужденного состояния показывают существенное приращение коэффициентов поглощения исследованных
образцов в области длин волн 193 nm при накачке состояния 4F3/2 ионов Nd3+ ИК излучением. Полученные
результаты демонстрируют возможность применения этих кристаллов в качестве оптических затворов
для УФ и ВУФ диапазона, управляемых внешним лазерным ИК излучением, например для излучения
эксимерного ArF-лазера с длиной волны 193 nm, которое начало применяться в фотолитографии. |
ru_RU |
| dc.language.iso |
ru |
ru_RU |
| dc.subject |
фторидный кристалл |
ru_RU |
| dc.subject |
ионы неодима |
ru_RU |
| dc.subject |
ВУФ |
ru_RU |
| dc.subject |
УФ |
ru_RU |
| dc.subject |
спектр поглощения |
ru_RU |
| dc.subject |
поглощение из
возбужденного состояния |
ru_RU |
| dc.subject |
оптический затвор |
ru_RU |
| dc.subject |
193 nm |
ru_RU |
| dc.subject |
эксимерный ArF-лазер |
ru_RU |
| dc.title |
О возможности применения фторидных неодим- активированных кристаллов в качестве светоуправляемого затвора для излучения ArF-лазера (193 nm) |
ru_RU |
| dc.type |
Статьи в российских журналах и сборниках |
ru_RU |
|
EN 
中文 
ES 
Карта сайта
