| Форма представления | Статьи в зарубежных журналах и сборниках |
| Год публикации | 2022 |
| Язык | английский |
|
Желтухин Виктор Семенович, автор
Шемахин Александр Юрьевич, автор
|
| Библиографическое описание на языке оригинала |
Terentev TN, Shemakhin AY, Samsonova ES, Frequency dependencies of the characteristics of an inductively coupled radiofrequency discharge at reduced pressure//PLASMA SOURCES SCIENCE & TECHNOLOGY. - 2022. - Vol.31, Is.9. - Art. №94005. |
| Ключевые слова |
ICRF discharge, RF plasma, reduced pressure, mathematical modeling |
| Название журнала |
PLASMA SOURCES SCIENCE & TECHNOLOGY
|
| Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку |
https://repository.kpfu.ru/?p_id=272462 |
Полная запись метаданных  |
| Поле DC |
Значение |
Язык |
| dc.contributor.author |
Желтухин Виктор Семенович |
ru_RU |
| dc.contributor.author |
Шемахин Александр Юрьевич |
ru_RU |
| dc.date.accessioned |
2022-01-01T00:00:00Z |
ru_RU |
| dc.date.available |
2022-01-01T00:00:00Z |
ru_RU |
| dc.date.issued |
2022 |
ru_RU |
| dc.identifier.citation |
Terentev TN, Shemakhin AY, Samsonova ES, Frequency dependencies of the characteristics of an inductively coupled radiofrequency discharge at reduced pressure//PLASMA SOURCES SCIENCE & TECHNOLOGY. - 2022. - Vol.31, Is.9. - Art. №94005. |
ru_RU |
| dc.identifier.uri |
https://repository.kpfu.ru/?p_id=272462 |
ru_RU |
| dc.description.abstract |
PLASMA SOURCES SCIENCE & TECHNOLOGY |
ru_RU |
| dc.language.iso |
ru |
ru_RU |
| dc.subject |
ICRF discharge |
ru_RU |
| dc.subject |
RF plasma |
ru_RU |
| dc.subject |
reduced pressure |
ru_RU |
| dc.subject |
mathematical modeling |
ru_RU |
| dc.title |
Frequency dependencies of the characteristics of an inductively coupled radiofrequency discharge at reduced pressure |
ru_RU |
| dc.type |
Статьи в зарубежных журналах и сборниках |
ru_RU |
|
EN 
中文 
ES 
Карта сайта
