КФУ. Карточка публикации. Frequency dependencies of the characteristics of an inductively coupled radiofrequency discharge at reduced pressure

КАЗАНСКИЙ
ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ

RUS

- EN
- 中文
- ES

FREQUENCY DEPENDENCIES OF THE CHARACTERISTICS OF AN INDUCTIVELY COUPLED RADIOFREQUENCY DISCHARGE AT REDUCED PRESSURE

Форма представления

Статьи в зарубежных журналах и сборниках

Год публикации

2022

Язык

английский

Авторы, сотрудники КФУ

Шемахин Александр Юрьевич, автор

Библиографическое описание на языке оригинала

Terentev TN, Shemakhin AY, Samsonova ES, Frequency dependencies of the characteristics of an inductively coupled radiofrequency discharge at reduced pressure//PLASMA SOURCES SCIENCE & TECHNOLOGY. - 2022. - Vol.31, Is.9. - Art. №94005.

Ключевые слова

ICRF discharge, RF plasma, reduced pressure, mathematical modeling

Название журнала

PLASMA SOURCES SCIENCE & TECHNOLOGY

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку

https://repository.kpfu.ru/?p_id=272462

Полная запись метаданных

Поле DC	Значение	Язык
dc.contributor.author	Шемахин Александр Юрьевич	ru_RU
dc.date.accessioned	2022-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2022-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2022	ru_RU
dc.identifier.citation	Terentev TN, Shemakhin AY, Samsonova ES, Frequency dependencies of the characteristics of an inductively coupled radiofrequency discharge at reduced pressure//PLASMA SOURCES SCIENCE & TECHNOLOGY. - 2022. - Vol.31, Is.9. - Art. №94005.	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/?p_id=272462	ru_RU
dc.description.abstract	PLASMA SOURCES SCIENCE & TECHNOLOGY	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject	ICRF discharge	ru_RU
dc.subject	RF plasma	ru_RU
dc.subject	reduced pressure	ru_RU
dc.subject	mathematical modeling	ru_RU
dc.title	Frequency dependencies of the characteristics of an inductively coupled radiofrequency discharge at reduced pressure	ru_RU
dc.type	Статьи в зарубежных журналах и сборниках	ru_RU