КФУ. Карточка публикации. Self-Consistent Model of Low Pressure Inductively Coupled RF Discharge

КАЗАНСКИЙ
ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ

RUS

- EN
- 中文
- ES

SELF-CONSISTENT MODEL OF LOW PRESSURE INDUCTIVELY COUPLED RF DISCHARGE

Форма представления

Статьи в зарубежных журналах и сборниках

Год публикации

2022

Язык

английский

Авторы, сотрудники КФУ

Шемахин Александр Юрьевич, автор

Библиографическое описание на языке оригинала

Zheltukhin V, Shemakhin A, Terentev T, Self-Consistent Model of Low Pressure Inductively Coupled RF Discharge//Lecture Notes in Computational Science and Engineering. - 2022. - Vol.141, Is.. - P.587-595.

Ключевые слова

RF plasma, low pressure

Название журнала

Lecture Notes in Computational Science and Engineering

URL

https://www.scopus.com/inward/record.uri?eid=2-s2.0-85138828826&doi=10.1007%2f978-3-030-87809-2_44&partnerID=40&md5=055bc60c46f6b7d6c13ddbada90e6e12

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку

https://repository.kpfu.ru/?p_id=273922

Полная запись метаданных

Поле DC	Значение	Язык
dc.contributor.author	Шемахин Александр Юрьевич	ru_RU
dc.date.accessioned	2022-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2022-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2022	ru_RU
dc.identifier.citation	Zheltukhin V, Shemakhin A, Terentev T, Self-Consistent Model of Low Pressure Inductively Coupled RF Discharge//Lecture Notes in Computational Science and Engineering. - 2022. - Vol.141, Is.. - P.587-595.	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/?p_id=273922	ru_RU
dc.description.abstract	Lecture Notes in Computational Science and Engineering	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject	RF plasma	ru_RU
dc.subject	low pressure	ru_RU
dc.title	Self-Consistent Model of Low Pressure Inductively Coupled RF Discharge	ru_RU
dc.type	Статьи в зарубежных журналах и сборниках	ru_RU