КФУ. Карточка публикации. A mathematical model of an inductively coupled radio-frequency discharge at low pressure as nonlinear partial eigenproblem

RUS

- EN
- 中文
- ES

A MATHEMATICAL MODEL OF AN INDUCTIVELY COUPLED RADIO-FREQUENCY DISCHARGE AT LOW PRESSURE AS NONLINEAR PARTIAL EIGENPROBLEM

Форма представления

Статьи в зарубежных журналах и сборниках

Год публикации

2022

Язык

английский

Авторы, сотрудники КФУ

Желтухин Виктор Семенович, автор

Шемахин Александр Юрьевич, автор

Библиографическое описание на языке оригинала

Shemakhin A.Yu, Zheltukhin V.S, Shemakhin E.Yu, A mathematical model of an inductively coupled radio-frequency discharge at low pressure as nonlinear partial eigenproblem//Journal of Physics: Conference Series. - 2022. - Vol.2388, Is.1. - Art. №012050.

Ключевые слова

ВЧ-плазма, пониженное давление, математическое моделирование

Название журнала

Journal of Physics: Conference Series

URL

https://www.scopus.com/inward/record.uri?eid=2-s2.0-85145185510&doi=10.1088%2f1742-6596%2f2388%2f1%2f012050&partnerID=40&md5=bf383da4792f8695fb1b56e058e07102

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку

https://repository.kpfu.ru/?p_id=278829

Полная запись метаданных

Поле DC	Значение	Язык
dc.contributor.author	Желтухин Виктор Семенович	ru_RU
dc.contributor.author	Шемахин Александр Юрьевич	ru_RU
dc.date.accessioned	2022-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2022-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2022	ru_RU
dc.identifier.citation	Shemakhin A.Yu, Zheltukhin V.S, Shemakhin E.Yu, A mathematical model of an inductively coupled radio-frequency discharge at low pressure as nonlinear partial eigenproblem//Journal of Physics: Conference Series. - 2022. - Vol.2388, Is.1. - Art. №012050.	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/?p_id=278829	ru_RU
dc.description.abstract	Journal of Physics: Conference Series	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject	ВЧ-плазма	ru_RU
dc.subject	пониженное давление	ru_RU
dc.subject	математическое моделирование	ru_RU
dc.title	A mathematical model of an inductively coupled radio-frequency discharge at low pressure as nonlinear partial eigenproblem	ru_RU
dc.type	Статьи в зарубежных журналах и сборниках	ru_RU