КФУ. Карточка публикации. Frequency dependencies of the characteristics of an inductively coupled radiofrequency discharge at reduced pressure

КАЗАНСКИЙ
ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ

RUS

- EN
- 中文
- ES

FREQUENCY DEPENDENCIES OF THE CHARACTERISTICS OF AN INDUCTIVELY COUPLED RADIOFREQUENCY DISCHARGE AT REDUCED PRESSURE

Форма представления

Статьи в зарубежных журналах и сборниках

Год публикации

2022

Язык

английский

Авторы, сотрудники КФУ

Желтухин Виктор Семенович, автор

Шемахин Александр Юрьевич, автор

Библиографическое описание на языке оригинала

Terentev T.N, Shemakhin A.Yu, Samsonova E.S, Frequency dependencies of the characteristics of an inductively coupled radiofrequency discharge at reduced pressure//Plasma Sources Science and Technology. - 2022. - Vol.31, Is.9. - Art. №094005.

Ключевые слова

ВЧ-плазма, пониженное давление, математическое моделирование

Название журнала

Plasma Sources Science and Technology

URL

https://www.scopus.com/inward/record.uri?eid=2-s2.0-85145221973&doi=10.1088%2f1361-6595%2fac8dba&partnerID=40&md5=d1382d01a8460243ec7523551948334f

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку

https://repository.kpfu.ru/?p_id=278830

Полная запись метаданных

Поле DC	Значение	Язык
dc.contributor.author	Желтухин Виктор Семенович	ru_RU
dc.contributor.author	Шемахин Александр Юрьевич	ru_RU
dc.date.accessioned	2022-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2022-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2022	ru_RU
dc.identifier.citation	Terentev T.N, Shemakhin A.Yu, Samsonova E.S, Frequency dependencies of the characteristics of an inductively coupled radiofrequency discharge at reduced pressure//Plasma Sources Science and Technology. - 2022. - Vol.31, Is.9. - Art. №094005.	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/?p_id=278830	ru_RU
dc.description.abstract	Plasma Sources Science and Technology	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject	ВЧ-плазма	ru_RU
dc.subject	пониженное давление	ru_RU
dc.subject	математическое моделирование	ru_RU
dc.title	Frequency dependencies of the characteristics of an inductively coupled radiofrequency discharge at reduced pressure	ru_RU
dc.type	Статьи в зарубежных журналах и сборниках	ru_RU