| Форма представления | Статьи в зарубежных журналах и сборниках |
| Год публикации | 2022 |
| Язык | английский |
|
Шемахин Александр Юрьевич, автор
|
| Библиографическое описание на языке оригинала |
Terentev T.N, Shemakhin A.Yu, Samsonova E.S, Frequency dependencies of the characteristics of an inductively coupled radiofrequency discharge at reduced pressure//Plasma Sources Science and Technology. - 2022. - Vol.31, Is.9. - Art. №094005. |
| Ключевые слова |
ВЧ-плазма, пониженное давление, математическое моделирование |
| Название журнала |
Plasma Sources Science and Technology
|
| URL |
https://www.scopus.com/inward/record.uri?eid=2-s2.0-85145221973&doi=10.1088%2f1361-6595%2fac8dba&partnerID=40&md5=d1382d01a8460243ec7523551948334f |
| Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на эту карточку |
https://repository.kpfu.ru/?p_id=278830 |
Полная запись метаданных  |
| Поле DC |
Значение |
Язык |
| dc.contributor.author |
Шемахин Александр Юрьевич |
ru_RU |
| dc.date.accessioned |
2022-01-01T00:00:00Z |
ru_RU |
| dc.date.available |
2022-01-01T00:00:00Z |
ru_RU |
| dc.date.issued |
2022 |
ru_RU |
| dc.identifier.citation |
Terentev T.N, Shemakhin A.Yu, Samsonova E.S, Frequency dependencies of the characteristics of an inductively coupled radiofrequency discharge at reduced pressure//Plasma Sources Science and Technology. - 2022. - Vol.31, Is.9. - Art. №094005. |
ru_RU |
| dc.identifier.uri |
https://repository.kpfu.ru/?p_id=278830 |
ru_RU |
| dc.description.abstract |
Plasma Sources Science and Technology |
ru_RU |
| dc.language.iso |
ru |
ru_RU |
| dc.subject |
ВЧ-плазма |
ru_RU |
| dc.subject |
пониженное давление |
ru_RU |
| dc.subject |
математическое моделирование |
ru_RU |
| dc.title |
Frequency dependencies of the characteristics of an inductively coupled radiofrequency discharge at reduced pressure |
ru_RU |
| dc.type |
Статьи в зарубежных журналах и сборниках |
ru_RU |
|
EN 
中文 
ES 
Карта сайта
